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北京市教委资助项目(KM200910005018)
作品数:
1
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杨萍
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电子束蒸发制备氮化硼薄膜的红外光谱研究
2009年
用电子束蒸发法制备氮化硼薄膜,分别研究束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量的影响,薄膜以红外吸收光谱标识。实验结果表明,束流大小和蒸发时间长短对薄膜质量都有影响,经过900℃氮气保护退火后,都得到了高立方相含量的氮化硼薄膜。
邓金祥
郭清秀
崔敏
赵卫平
杨冰
杨萍
关键词:
氮化硼薄膜
电子束蒸发
红外光谱
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