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北京市科委基金(GYYKW05070013)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：富迪陈豪刘理天杨轶任天令更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科委基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压电超声换能...
  • 1篇医学超声
  • 1篇医学超声成像
  • 1篇阵列
  • 1篇声成像
  • 1篇声换能器
  • 1篇换能器
  • 1篇键合
  • 1篇二维阵列
  • 1篇硅
  • 1篇MEMS
  • 1篇超声
  • 1篇超声成像
  • 1篇超声换能器
  • 1篇成像

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇任天令
  • 1篇杨轶
  • 1篇刘理天
  • 1篇陈豪
  • 1篇富迪

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法被引量：3
2011年
针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法,并采用该方法制备了阵元间距小至150μm的密排二维换能器阵列。阵列中每个声学单元均为由上电极、压电材料(PZT)层、下电极和支撑层组成的多层膜结构,并通过其弯曲振动模式实现超声波的发射和接收。制备样品的测试结果表明,采用该方法制作MEMS压电超声换能器阵列,具有阵元间距小、工艺流程可靠、成品率高、一致性好、工作频率(2.45MHz)与设计值(2.5MHz)的吻合度高等优点,适用于医学成像等高频超声成像系统。
富迪陈豪杨轶任天令刘理天
关键词：医学超声成像
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