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国家科技基础条件平台建设计划(APT0809-2)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王鹤岩孙双花叶孝佑薛梓更多>>
相关机构：中国计量科学研究院更多>>
发文基金：国家科技基础条件平台建设计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇图像
  • 1篇图像测量
  • 1篇线间距
  • 1篇刻线
  • 1篇刻线尺
  • 1篇激光
  • 1篇计量学

机构

  • 1篇中国计量科学...

作者

  • 1篇薛梓
  • 1篇叶孝佑
  • 1篇孙双花
  • 1篇王鹤岩

传媒

  • 1篇计量技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于图像测量的微刻线尺高精度检测被引量：1
2012年
在高精度激光二坐标标准装置上实现了线宽2μm、最小线间距10μm的微刻线尺的高精度检测。采用高精度差动式激光干涉测长系统作为测长基准，高倍光学镜和高分辨力CCD组合作为精密光学瞄准定位反馈，设计了采样窗自动识别算法实现了条纹图像的自动识别瞄准，提出了采样窗内双向逐行扫描及3盯准则剔除离群点的边缘提取算法，提高了边缘检测精度。微刻线尺线间距的测量不确定度优于0．3μm，k=2，测量的重复性标准差优于20nm。
孙双花薛梓叶孝佑王鹤岩
关键词：计量学图像测量线间距
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共1页<1>
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