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中国高等教育学会“十一五”教育科学研究规划课题(06AIJ001004)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：邱宏吴平陈森闫丹张师平更多>>
相关机构：北京科技大学更多>>
发文基金：中国高等教育学会“十一五”教育科学研究规划课题北京市教育委员会共建项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电性质
  • 1篇阻抗分析仪
  • 1篇介电
  • 1篇介电常数
  • 1篇介电性质
  • 1篇HFO2薄膜

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇张师平
  • 1篇闫丹
  • 1篇陈森
  • 1篇吴平
  • 1篇邱宏

传媒

  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用阻抗分析仪测量薄膜材料的介电性质被引量：2
2009年
讨论了使用阻抗分析仪测量介质薄膜介电性质的方法。通过Agilent 4294A高精度阻抗分析仪、16047A夹具以及探针平台，搭建了介质薄膜C—V曲线测量平台，测量了沉积在p—Si衬底上的HfO2薄膜的介电常数，并计算得到了p—Si衬底与HfO2薄膜界面的界面态密度、其附近的固定电荷密度，以及可动离子电荷密度。该文内容可以作为大学物理实验的一个研究性实验项目。
张师平吴平闫丹陈森邱宏
关键词：阻抗分析仪HFO2薄膜介电常数
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共1页<1>
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