国家教育部博士点基金(1999056121)
- 作品数：12 被引量：56H指数：4
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- CVD金刚石薄膜二次形核机制的研究被引量：16
- 2001年
- 根据实验观察分析提出了金刚石二次形核机制 ,此机制认为二次形核很容易在( 10 0 )晶面上和晶界上形成。通过比较 ( 10 0 )面的二次形核和形成新生长台阶的系统自由能差 ,可知当气氛中的碳氢基团浓度较大时 ,粘附在基底的碳氢基团发生堆集 ,如果堆集碳氢基团高度尺寸较大时将形成二次晶核。也对晶界二次形核的系统自由能差进行了推导 ,结果表明晶界二次形核是自发的 ,将导致体系自由能的下降。
- 黄元盛刘正义邱万奇
- 关键词：金刚石薄膜化学气相沉积
- 球形金刚石的形成机制被引量：6
- 2002年
- 在 p Si(10 0 )基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜。用XL30FEG扫描电镜、X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究 ,并对其形成机制进行了分析。结果表明 :球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致 ,球形金刚石由微晶金刚石组成 ,晶粒尺寸为 70～ 2 0 0nm ;微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成 ,呈无序分布 ;
- 邱万奇刘正义陈剑惠
- 关键词：微晶化学气相沉积法金刚石薄膜
- 正弦应变下聚合物熔体的非仿射网络结构模型
- 2003年
- 在正弦应变作用下,假设聚合物熔体的缠结网络形变是非仿射的,运用瞬态网络结构原理,并对上随体Maxwell本构方程加以改进,从而得到一个适合于振动剪切作用下的聚合物熔体的非仿射网络结构模型.并且在一种合理的初始简化条件下对模型进行数值分析,将理论预测值与实验值进行比较后得知二者具有较好的吻合性.同时,通过比较得知所建立的非仿射网络结构本构方程比仿射网络结构本构方程的精确度要高.
- 张娟瞿金平
- 关键词：聚合物熔体非牛顿流体
- 改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能被引量：1
- 2006年
- 为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2 sccm时,膜/基附着力性能最好.
- 黄元盛邱万奇罗承萍黄彩娥
- 关键词：化学气相沉积氧气
- 甲烷浓度对CVD金刚石膜表面粗糙度的影响被引量：4
- 2004年
- 研究了化学气相沉积金刚石膜时甲烷浓度与金刚石膜表面粗糙度的关系。结果表明 ,随甲烷浓度的增加金刚石膜表面粗糙度下降。表面粗糙度主要由金刚石膜的晶粒大小和二次形核决定 ,晶粒越细 ,表面粗糙度越低。在金刚石晶界二次形核及长大 ,也促使金刚石膜表面粗糙度降低。
- 黄元盛邱万奇罗承萍
- 关键词：化学气相沉积金刚石膜甲烷粗糙度
- 射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究被引量：2
- 2002年
- 用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。
- 陈灵刘正义邱万奇黄元盛刘铁林欧阳光胜
- 关键词：化学气相沉积类金刚石膜力学性能光学性能化学性能
- 化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质被引量：13
- 2004年
- 化学气相沉积(CVD)金刚石的主要晶体缺陷为孪晶、层错和位错。杂质主要有非晶碳、石墨和氢等。文中对上述晶体缺陷及杂质的研究进行了回顾:这些缺陷和杂质可以存在于晶内或者晶界;缺陷密度、杂质含量与化学气相沉积的沉积条件有很大关系;一般缺陷密度和杂质含量随甲烷浓度的增加而增加;杂质的存在也直接影响金刚石晶体缺陷的形成;并对CVD金刚石的五次孪晶的研究作了总结。这对以后CVD金刚石的晶体学研究具有较大的指导意义。
- 黄元盛罗承萍邱万奇
- 关键词：金刚石晶体缺陷
- 振动剪切场对聚合物熔体缠结密度的影响机理被引量：8
- 2003年
- 情况.指出当施加正弦应变后,缠结密度的变化也呈周期性变化,而且施加的应变振幅与频率的大小对缠结密度的变化有很大影响;当施加的应变振幅或频率越大时,缠结密度变化的幅度越大,从而使熔体的粘度变化也越大.同时指出施加振动可以改变链段和整个分子链的松弛时间.
- 张娟瞿金平
- 钢渗铬沉积金刚石膜的研究被引量：3
- 2005年
- 用热解CVD装置研究了甲烷浓度、基底温度、室压对钢渗铬沉积金刚石膜的影响。结果表明 ,甲烷浓度越低 ,沉积得到的金刚石膜的晶形越好 ,甲烷浓度超过 0 .8%后 ,金刚石的形貌呈“菜花状” ;基体温度高时 ,难于在渗铬层上形成连续的金刚石膜 ,但基体温度高所得的晶形较好 ;室压越高 ,金刚石的形核密度越高 ,但随室压的升高 ,金刚石的形貌变差。菜花状金刚石膜是由大量二次晶核长大的微晶金刚石晶粒组成 ,含有较多的非金刚石碳相。
- 黄元盛邱万奇罗承萍
- 关键词：金刚石化学气相沉积渗铬层
- CVD金刚石薄膜热导率的研究被引量：3
- 2002年
- 研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响。结果表明 ,随着晶粒尺寸的增大 ,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大 ;随着膜的增厚 ,热导率先大幅度提高 ,达到一定值后 ,变化率变小 ;晶粒 (111)取向对金刚石膜的热导率最有利 ,其次是 (110 ) ;非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率 。
- 陈灵黄元盛邱万奇刘正义瞿全炎
- 关键词：CVD金刚石薄膜热导率
