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国家重点实验室开放基金(SK00401)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈云锋陈炳若更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇数据处理
  • 1篇椭偏仪

机构

  • 1篇武汉大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇陈炳若
  • 1篇陈云锋

传媒

  • 1篇光电子技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
椭偏仪数据处理及误差修正被引量：1
2006年
提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法,使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片(厚度20nm^1μm),用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正,使最终的误差小于1%。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。
陈云锋陈炳若
关键词：椭偏仪
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