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北京市科委项目(GYYKW0507009)

作品数：2 被引量：10H指数：2
相关作者：林惠旺张兆华许东华刘理天任天令更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科委项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇压阻
  • 3篇压阻式
  • 3篇压阻式压力传...
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 1篇阳极键合
  • 1篇键合
  • 1篇硅玻璃
  • 1篇硅
  • 1篇残余应力

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇刘理天
  • 3篇许东华
  • 3篇张兆华
  • 3篇林惠旺
  • 2篇谭智敏
  • 1篇任天令

传媒

  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
2007年
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。
许东华林惠旺张兆华谭智敏刘理天
关键词：压阻式压力传感器
硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力被引量：7
2008年
硅玻璃阳极键合技术因键合强度高,工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃阳极键合进行了系统的力学分析以减小残余应力对器件性能的影响。实验中采用硅玻璃阳极键合技术制备了不同压敏膜厚度和尺寸的传感器并测试其曲率与零点以对残余应力进行分析验证。
许东华张兆华林惠旺刘理天任天令
关键词：阳极键合压力传感器残余应力
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对...
许东华林惠旺张兆华谭智敏刘理天
关键词：压阻式压力传感器
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