国家自然科学基金(50275101)
- 作品数：15 被引量：74H指数：5
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- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 大型机件测距系统精度分析被引量：1
- 2009年
- 为了提高无导轨大尺寸测量系统的精度,以具有较强稳定度和抗干扰能力的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,采用数字滤波提高信噪比,利用小波变换具有空间局部化的特性和表征信号奇异性的能力,在适当尺度下刻画大尺寸测量信号的过零点,进行小波锐化,以提高节点对准精度。研究结果表明:室外时拍频频率稳定度可达10-7;系统节点对准误差小于30μm;小波锐化能把双纵模无导轨大尺寸拍频干涉仪的测量精度从60μm提高到30μm。
- 周秀云张涛
- 关键词：无导轨小波变换
- 一种大范围高精度的光电测量装置研究
- 2009年
- 为解决大尺寸测量的环境性和高精度性的矛盾问题，介绍了一种可用于工业现场大尺寸零件精密测量的装置。该装置以双纵模热稳频He-Ne激光器为光源，其拍频频率约为729MHz，拍频波长约412mm；以拍频波长为测量基准，拍频波节点（过零点）为对准标志，用粗估的方法获取整数倍拍频半波长的长度，用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪（分辨率为0．08μm）测量最邻近节点到被测点的尾数长度。测试表明，此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度。整个测量系统可在0～20m范围内工作。测量不确定度优于±30μm／10m。
- 周秀云程玉华
- 关键词：不确定度小波变换
- 高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究被引量：3
- 2009年
- 现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1μm/800mm。实验证明,该干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量。
- 周秀云张涛程玉华
- 小波分析在大尺寸测量中的应用研究被引量：1
- 2007年
- 利用小波变换具有空间局部化特性和表征信号奇异性能力,在适当尺度下刻画大尺寸测量信号的过零点进行小波锐化,解决了大尺寸测量过程中节点确定误差,实验研究表明该方法可行。
- 周秀云张涛周肇飞
- 关键词：大尺寸测量小波变换奇异性
- 基于波前修正的大尺寸测量图像恢复技术研究被引量：1
- 2008年
- 针对现场大尺寸测量难以避免的空气扰动问题,提出了一种采用波前修正的图像恢复方法对经靶镜反射后的畸变激光光斑进行复原,对微米级精密测距、准直的测量结果修正,以提高现场大尺寸测量精度的方法。实验证明:该方法能有效的解决由于大气扰动而产生的图像抖动、变形等问题,从而使测量精度提高,有效测量距离增大。
- 尹伯彪周肇飞
- 关键词：大尺寸测量图像恢复
- 大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究被引量：4
- 2004年
- 介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 +1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。
- 朱目成周肇飞张涛
- 关键词：大尺寸测量激光干涉仪
- He-Ne拍波激光干涉仪的研究被引量：7
- 2004年
- 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频He Ne激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度 (室外不低于 1× 10 -7)和强的抗干扰性 ,拍波频率约为75 0MHz ,拍波长约为 4 0 0mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明 ,该装置的节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统可在 2 0m范围内进行精度为± 5 0 μm +1.5× 10 -6·L(L为被测长度 ,单位为m)的测量。
- 朱目成周肇飞张涛
- 关键词：大尺寸
- 基于双纵模热稳频激光源的6D激光测量系统被引量：1
- 2009年
- 针对目前数控设备无法实现高速及多参数同时测量的问题,以双纵模热稳频激光源为基础,自主研发了高速6D激光测量系统,不仅允许测速高(可达1.3m/s以上),而且解决了现有5D/6D激光干涉仪未能有效解决的高精度测量滚转角的问题,具有很好的推广应用价值。
- 李阳吴振林李辉张涛
- 双纵模双频激光干涉仪的非线性对测量精度的影响被引量：5
- 2008年
- 对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。根据理论分析推导出了存在非线性时输出信号的表达式,并据此给出了非线性误差的表现形式是使混频输出信号产生漂移起伏,主要影响因素是偏振分光镜分光偏振度及光路调整理想程度。根据分光偏振度可计算信号最大漂移幅度及其带来的测量误差,计算出的漂移幅度值与实际观测值相近,该值可作为判断光路调整精度的一个标准,也是确定后续信号处理环节(细分辨向计数)中最大细分数的依据。
- 杨春生张涛成俊康刘国栋
- 关键词：仪器仪表技术纵模双频激光干涉仪非线性漂移
- 基于AD8302的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统被引量：6
- 2009年
- 为了解决双纵模双频激光干涉仪原有信号处理电路两路信号易直流漂移、不正交对干涉仪系统测量精度和速度的限制及调整光路观察信号不方便等问题,利用AD8302的良好高频处理特性,设计了一种新的基于AD8302的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统,给出了方案的总体框图和信号处理流程图,详细地分析了其工作原理以及提高相位测量精度方法。由于器件相位测量的高分辨率,该系统也可用于高分辨率双纵模双频激光轮廓仪的信号处理。
- 韦进强张涛何子牛吴振林
- 关键词：AD8302激光干涉仪相位测量高频信号信号处理
