扬州大学科研项目
- 作品数：4 被引量：17H指数：3
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- 相关机构：扬州大学扬州晶新微电子有限公司更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信文化科学更多>>
- Si_3N_4薄膜的成分与结构研究被引量：9
- 2004年
- 通过 PECVD方法 ,在 Si基体表面制备了 Si3N4 薄膜 ,给出了 XRD、TEM、AES、DPS的分析结果 ,表明 Si3N4 是非晶态结构 ,薄膜的主要成分是 Si3N4 ,SEM分析结果显示 Si3N4 薄膜与基体材料的结合强度高 。
- 赵毅红陈荣发刘伯实
- 关键词：PECVDXRDTEMAESDPS
- 波导薄膜厚度测量原理的理论分析被引量：4
- 2005年
- 运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度。
- 赵毅红陈荣发
- 关键词：电磁场理论励磁电流
- 论师范教育教师专业化培养标准被引量：1
- 2008年
- 由于我国迄今还没有制订明确的、规范的教师专业化的标准,使得师范教育缺乏明晰的培养目标。英、美、日等国的教育研究机构制定了若干教师专业化培养标准,对我国师范教育教师专业化培养标准的制订提供了很好的借鉴。
- 黄晓菊朱煜
- 关键词：师范教育教师专业化
- 半绝缘多晶硅薄膜的钝化与性能研究被引量：3
- 2004年
- 通过LPCVD的方法,在Si基体表面制备了掺氧半绝缘多晶硅薄膜(SIPOS),分析了钝化机理,讨论了不同流量比与沉积速率、含氧量的关系以及SIPOS膜的含氧量对膜系结构、电阻率、折射率的性能影响,获得了最佳钝化条件,测试结果表明SIPOS薄膜晶体管击穿电压高、可靠性好、性能更稳定,可以满足现代生产的需要。
- 赵毅红陈荣发刘伯实
- 关键词：LPCVD钝化
