国家高技术研究发展计划(2006AA04AZ237)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：张冬仙林星伊福廷王波赵冬伟更多>>
- 相关机构：浙江大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于LIGA技术的光热驱动微开关研究被引量：2
- 2011年
- 设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾角6°的微开关器件;利用光热驱动控制与显微视频监控系统,进行了光热驱动及偏转量检测实验。实验结果表明,在波长808nm、功率135mW的半导体激光控制下,可产生约20μm的最大光热偏转量,从而验证了这一金属材料光热驱动微开关的可行性;同时,为设计制作基于金属材料的其他微型光热驱动器件及实际应用提供了技术基础。
- 林星赵冬伟王波伊福廷张冬仙
- 关键词：LIGA微开关ANSYS仿真
- 触点式微型光热驱动器设计及实验研究
- 2008年
- 随着微电机系统(MEMS)在众多领域的广泛应用,各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理,设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器,开展了光热微驱动的实验研究,证明了光热微驱动的可行性,并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能。
- 王旭龙琦刘超张冬仙
