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浙江省科技厅项目(2008C31002)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：徐大朋何大伟程新红俞跃辉宋朝瑞更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金浙江省科技厅项目更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇OFF
  • 1篇SOI
  • 1篇LIFT
  • 1篇LIFT-O...

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇王中健
  • 1篇宋朝瑞
  • 1篇俞跃辉
  • 1篇程新红
  • 1篇何大伟
  • 1篇徐大朋

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
反转胶lift-Off工艺制备堆栈电感被引量：5
2010年
本文采用反转胶lift-off工艺,对比分析了金属淀积方式、光刻胶的选择及光刻胶烘干时间对金属剥离效果的影响,制备出最小线宽4μm,最小间距4μm,厚度为1μm,线宽误差小于0.5μm的金属线条,并最终实现具有三层金属的堆栈电感,经光学显微镜和台阶仪观测表明,器件外观良好成品率高。
何大伟程新红王中健徐大朋宋朝瑞俞跃辉
关键词：SOI
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