国家自然科学基金(50275009)
- 作品数：13 被引量：92H指数：5
- 相关作者：樊尚春蔡晨光邢维巍乔少杰肖志敏更多>>
- 相关机构：北京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 微传感器最新发展被引量：27
- 2003年
- 近年来 ,微传感器受到国际传感技术界的广泛关注。本文介绍十多个微传感器 ,包括三轴加速度计 ,单、双轴加速度计片 ,表面微机械陀螺 (角速度传感器 ) ,微惯性导航系统 ,微磁通门传感器 ,磁阻传感器 ,纳米皮拉尼压力传感器 ,微科氏质量流量计 ,毫米波图像传感器 ,GPS手表 (1cm3) ,二氧化碳传感器和微 /超微角位移传感器。文中简要介绍它们的基本结构、敏感机理、特点等 。
- 黄俊钦樊尚春刘广玉
- 关键词：微传感器加速度陀螺图像传感器毫米波
- 双谐振器敏感结构谐振式传感器被引量：1
- 2006年
- 提出一种采用双谐振器敏感结构的谐振式传感器,传感器的敏感元件包括两个结构参数一致的谐振器,传感器的闭环控制系统由两个幅度控制器和一个反相器组成.分析了这样两个谐振器串联的频率特性,指出在谐振器固有频率点上,两个谐振器串联的相移是180.°给出了双谐振器敏感结构谐振式传感器闭环系统的实现方法,同时分析了当两个谐振器的结构参数不一致时,两个谐振器串联的频率特性.分析结果表明,两个结构参数相差不大的谐振器串联仍然可以构成自激闭环.双谐振器敏感结构谐振式传感器的闭环控制系统中去掉了移相环节,避免了由移相环节产生的相位漂移所引入的测量误差,并有效地提高了传感器的Q值.
- 樊尚春蔡晨光王莹莹邢维巍
- 关键词：谐振器闭环控制系统相移Q值传感器
- 硅谐振式压力微传感器模型与开环特性测试被引量：3
- 2007年
- 基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析,利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据处理与拟和分析计算,建立了微传感器的二阶模型.该模型排除了未知相位延迟的影响,从幅值和相位混合的测试数据中精确计算出谐振频率、品质因数以及相位特性,为闭环测试系统的研制提供了依据.
- 王莹莹樊尚春邢维巍蔡晨光
- 关键词：谐振式压力传感器频率特性MEMS
- 硅压阻式传感器的温度特性及其补偿被引量：22
- 2003年
- 基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ,讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ,特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ,设计、选择了加工工艺 ,给出了压敏电阻的近似温度补偿公式 。
- 樊尚春彭春荣
- 关键词：温度特性温度补偿硅传感器压阻特性
- 基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统被引量：7
- 2004年
- 给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。
- 蔡晨光樊尚春
- 关键词：谐振频率品质因数线性调频信号线性调频Z变换
- 硅谐振式微传感器开环特性测试与数据处理被引量：5
- 2006年
- 为了精确计算出硅谐振式微传感器的谐振频率、谐振峰值和品质因数,根据硅谐振式微传感器的理论模型以及开环特性测试实测数据,通过分析讨论、仿真与实验从多方面比较了低通滤波与改进的最小二乘法等数据处理算法,并得到了整体最优的算法。所设计的相应程序为硅谐振式微传感器开环特性测试系统专用数据处理程序,同时本文讨论的算法也适用于其他类似的数据处理。
- 樊尚春杨军肖志敏蔡晨光
- 关键词：数据处理谐振微传感器
- 热激励谐振式硅微结构压力传感器被引量：9
- 2004年
- 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ,简述了其工作机理 ;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践。
- 樊尚春
- 关键词：热激励压力传感器谐振式传感器优化设计闭环系统
- 非线性传感器静态特性评估的极限点法被引量：2
- 2003年
- 基于对测量过程、测量误差的认识 ,提出了一种利用极限点法评估非线性传感器静态特性的一种新方法。给出了利用该方法评估非线性传感器的两种模型。并以一电涡流式非线性位移传感器的标定数据进行了计算、分析。
- 樊尚春
- 关键词：非线性传感器静态特性
- 一种谐振式传感器频率特性测试平台被引量：4
- 2007年
- 谐振式传感器的谐振频率和Q值可以通过其频率特性计算得到,因此需要有一种通用的测试平台来测量各种不同谐振式传感器的频率特性。本文描述了一种谐振式传感器频率特性测试平台,并提出了一种采用间歇激励方法测试谐振式传感器谐振频率的新方法,采用线性调频信号激励谐振式传感器,传感器自由振动状态下的振动频率即是传感器的谐振频率;测得传感器自由振动状态下的振动频率,即可得到谐振式传感器的谐振频率。
- 蔡晨光樊尚春邢维巍
- 关键词：频率特性谐振式传感器Q值数据采集
- 基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件
- 2005年
- 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时,梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。
- 樊尚春乔少杰
- 关键词：硅微传感器谐振式传感器
