广东省自然科学基金(980423)
- 作品数：2 被引量：17H指数：2
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- 多脉冲电火花抛光金刚石膜
- ＜正＞ 我们发明了一种全新的CVD金刚石膜的抛光技术—旋转电极电火花抛光法。首先在金刚石膜表面镀覆一层合适的金属层,使金刚石膜成为导体,然后进行电火花放电腐蚀去除金刚石膜表面的突出尖峰,达到抛光的目的。在单脉冲放电蚀除金...
- 陈君王成勇郭钟宁
- 文献传递
- 旋转电极电火花抛光金刚石膜
- 电火花抛光金刚石膜的工艺是:预先在金刚石膜表面镀覆一层导电层,然后采用电火花进行加工,使金刚石膜表面突起的尖峰被迅速去除。单脉冲放电抛光实验中深入的研究了镀层材料对电火花抛光金刚石膜的影响,并证实了加工中金刚石表面的石墨...
- 王成勇陈君郭钟宁
- 关键词：金刚石膜电火花抛光
- 旋转电极电火花抛光金刚石膜被引量：4
- 2002年
- 电火花抛光金刚石膜的工艺是预先在金刚石膜表面镀覆一层导电层,然后采用电火花进行加工,使金刚石膜表面突起的尖峰被迅速去除。在单脉冲放电抛光试验中深入地研究了镀层材料对电火花抛光金刚石膜的影响,并证实了加工中金刚石表面的石墨化是使电火花加工得以不断延续的关键。通过旋转电极的抛光试验,验证了旋转电极连续抛光金刚石膜的有效性,提出电火花抛光的机理模型。
- 王成勇郭钟宁陈君
- 关键词：金刚石膜电火花抛光
- 金刚石膜机械和机械-化学抛光被引量：14
- 2002年
- 化学气相沉积 (CVD)法生成的金刚石膜具有天然金刚石的基本性质 ,在机械、电子、光学等领域都有着广泛的应用。但CVD金刚石多晶膜表面凹凸不平 ,表面粗糙度较大 ,限制了它的广泛应用 ,因此 ,金刚石膜的抛光成为必不可少的工艺步骤。但是 ,金刚石膜的硬度非常高 ,且厚度薄 ,整体强度低 ,易破裂或剥落 ,抛光难度很大。国内外学者通过实验和研究 ,提出了多种金刚石膜抛光的理论和方法。本文详细论述了几种典型的机械、化学、机械 -化学抛光方法的机理、工艺和特点。
- 陈春林王成勇陈君
- 关键词：化学气相沉积金刚石膜机械抛光CVD
