国家重点实验室开放基金(SKLTKF10B06)
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
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- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术化学工程更多>>
- 激光干涉光刻技术应用概述
- 2012年
- 激光干涉光刻作为一种新兴的光刻技术,具有设备结构简单、价格低廉、高效率、高分辨率和大视场曝光等特点。介绍通过激光干涉光刻产生的一维光栅结构、二维网格结构以及二维点阵结构在生物传感、太阳能电池和光子晶体等领域的应用前景。
- 贺海东杨海峰
- 关键词：激光技术光刻
- 电控摩擦技术的研究进展被引量：2
- 2012年
- 作为一种主动控制摩擦性能技术,电控摩擦技术可解决实际中的电接触摩擦问题和主动控制摩擦副的摩擦与磨损性能。综述电控摩擦技术的研究进展,介绍该领域已形成大量的理论体系,如自生电势、表面转移膜、化学反应膜等,展望电控摩擦技术的发展方向。微型化是机电系统的发展趋势,同时也是电控摩擦技术的研究趋势;在微机电系统或纳米机电系统领域,微电控摩擦技术或纳米电控摩擦技术有很好的应用前景。
- 周龙鹏杨海峰
- 关键词：微机电系统
- 双尺度织构的激光光刻工艺被引量：3
- 2013年
- 搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同。实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。
- 贺海东郝敬宾赵恩兰杨海峰唐玮朱华钱济国
- 关键词：双光束干涉双尺度表面织构激光光刻
