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国家科技重大专项(2009ZX02306-02)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：沙鹏飞李慧周军周翊张海波更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院光电研究院中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇熔融
  • 1篇熔融石英
  • 1篇准分子
  • 1篇准分子激光
  • 1篇准分子激光器
  • 1篇线宽
  • 1篇激光
  • 1篇激光光谱
  • 1篇激光器
  • 1篇光谱
  • 1篇分子
  • 1篇分子激光器
  • 1篇CAF2

机构

  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院光...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇楼祺洪
  • 1篇袁志军
  • 1篇王倩
  • 1篇赵江山
  • 1篇单耀莹
  • 1篇张海波
  • 1篇周翊
  • 1篇周军
  • 1篇李慧
  • 1篇沙鹏飞

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究被引量：7
2013年
针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的效果。利用熔融石英(FS)等腰直角棱镜与光栅的组合实现了线宽0.957pm的ArF准分子激光输出。理论分析和实验结果表明,作为深紫外波段的良好通光材料,熔融石英棱镜可以实现与常用氟化钙(CaF2)棱镜相近的线宽压窄结果。同时作为等腰直角方式设计,具有更高的切割成型工艺精度、更低的使用维护成本和更广泛的应用价值。
单耀莹赵江山李慧王倩沙鹏飞周翊周军袁志军张海波楼祺洪
关键词：激光器准分子激光器熔融石英CAF2
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