上海市科学技术委员会资助项目(03DZ12028)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
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- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：动力工程及工程热物理一般工业技术更多>>
- 背腐蚀法分离p-n结的研究
- 2007年
- 采用正面无保护的背腐蚀方法分离p-n结,用SEM图观察了背腐蚀后硅片表面形貌的变化,对背腐蚀与刻边分离p-n结样品的光生电动势进行了比较,用能带理论对其差别做了深入的解释。
- 刘志刚孙铁囤苦史伟罗培青姜维徐秀琴崔容强
- 关键词：光生电动势
- 硅片在HF/HNO_3/H_2O体系中的腐蚀速度被引量：4
- 2008年
- 研究了硅片在富硝酸的HF/HNO_3/H_2O体系中的腐蚀规律。随着腐蚀反应的进行,反应分5个阶段,在开始的5min内硅片腐蚀量较大,然后反应速度经历了下降、上升、下降再迅速下降的过程,最终达到稳定阶段。另外,随着反应时间的延长,反应温度先上升到达最大值,然后逐渐下降,溶液中氟离子浓度不断减小,反应速度随时间的变化规律是腐蚀生成热、体系与外界热交换以及溶液中氟离子浓度共同作用的结果。
- 安静孙铁囤刘志刚汪建强苦史伟
- 关键词：温度
