内蒙古自治区自然科学基金(2010zd21)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 相关作者：姜永军刘学杰洪超张富城任元更多>>
- 相关机构：内蒙古科技大学上海交通大学更多>>
- 发文基金：内蒙古自治区自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>
- Ti-Si-N薄膜生长过程的计算机模拟被引量：2
- 2013年
- 首次应用修正嵌入原子法(MEAM)以及动力学蒙特卡洛方法(KMC)对Ti-Si-N薄膜的生长过程进行了计算机仿真模拟。在合理选择势函数及MEAM各项参数的基础上,利用编程软件仿真在不同基底温度下的薄膜生长过程。与采用传统简单的Mouse势进行模拟的结果相比,这种新方法的模拟结果更加准确,与实验结果更加吻合。仿真结果表明:基底温度对Ti-Si-N薄膜的形成过程有着直接的影响,当基底温度为800 K时,岛所形成的形貌最为理想,缺陷率最低。
- 刘学杰洪超姜永军孙士阳
- 关键词：薄膜生长计算机模拟
- Nb-Si-N纳米复合薄膜中的界面力学性能研究被引量：2
- 2013年
- 基于密度泛函理论的第一性原理方法,研究了Nb-Si-N纳米复合薄膜间隙型界面结构和置换型界面结构的力学性能。采用第一性原理方法计算了不同应变下的系统能量,通过分析得到其力学常数。计算出间隙型界面和置换型界面结构的体积模量分别为233.595 GPa和280.204 GPa,剪切模量分别为70.716 GPa和125.677 GPa,杨氏模量分别为192.702 GPa和327.994 GPa。这表明Nb-Si-N纳米复合薄膜置换型界面结构的抗剪切形变与抗压缩形变都优于间隙型界面结构。杨氏模量各向异性分析显示,两种界面结构各方向弹性较为一致,NbN各方向弹性差别较大。
- 刘学杰张富城姜永军任元李智
- 关键词：第一性原理力学性能
