国家自然科学基金(60908042)
- 作品数：5 被引量：28H指数：4
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- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
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- 相关领域：理学机械工程化学工程更多>>
- 稀疏子孔径采样检测大口径光学器件被引量：5
- 2011年
- 针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。
- 闫锋涛范斌侯溪伍凡
- 关键词：光学检测采样抛光
- 大型双曲面次镜面形检测技术现状及发展趋势被引量：6
- 2010年
- 随着以双曲面为次镜的两镜光学系统在天文和空间光学等领域的应用日趋广泛,双曲面次镜的口径和相对口径越来越大,由此对双曲面次镜的面形检测技术提出了很高的要求。本文基于国外有代表性的双曲面次镜参数分析了其基本特征和发展趋势,重点介绍了国外大型双曲面次镜的面形检测技术,并对其中的关键技术进行了分析。同时,概述了国内双曲面次镜检测技术现状。最后,总结和展望了大型双曲面次镜面形检测技术发展趋势。提出今后一段时间内,高均匀性的光学透射材料,高精度、大口径的辅助元件以及基于子孔径拼接的检测方法和数据处理方法是该领域的研究重点。
- 侯溪伍凡
- 关键词：面形检测光学检验
- 基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究被引量：8
- 2012年
- 绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式,分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响,并和多次旋转法作了对比,其残差均方根(RMS)值约为1.5nm。该方法只需一次旋转两次检测,在保证检测精度的同时简化了检测过程。
- 宋伟红伍凡侯溪
- 关键词：光学检测
- 基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析被引量：7
- 2011年
- 基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息。详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析。仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.300 0×10-12 nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.164 1×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求。
- 宋伟红伍凡侯溪杨鹏
- 关键词：光学检测
- 基于子孔径拼接的Hindle球检测法被引量：3
- 2012年
- 为了能够准确获取基于子孔径拼接的Hindle球检测大口径双曲面镜的Hindle球参数,研究了Hindle球检测凸双曲面镜的理论模型,并从几何光学入手,讨论了基于子孔径拼接的Hindle球检测法的系统结构,推导了符合子孔径拼接要求的小口径Hindle球的参数计算式。对一个凸双曲面镜进行了在不同测量环带数目下的基于子孔径拼接的Hindle球检测法和经典Hindle球检测法的Hindle球参数对比。结果表明该Hindle球检测方法使Hindle球参数更合理。
- 闫锋涛范斌侯溪伍凡
- 关键词：光学检测子孔径拼接非球面几何光学
