上海市“科技创新行动计划”(075211016)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关作者：彭东辉孙方宏郑华沈彬张东灿更多>>
- 相关机构：上海化工研究院上海交通大学更多>>
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- 相关领域：化学工程更多>>
- 圆柱形衬底金刚石涂层的制备与表征研究
- 2009年
- 采用偏压增强热丝化学气相沉积法(BE-HFCVD),以WC-Co硬质合金圆柱体为衬底沉积金刚石薄膜。研究了提高金刚石薄膜形核密度和涂层附着力的新型复合衬底预处理方法,研究结果表明,采用新型复合衬底预处理工艺后,衬底表面凸凹不平,粗糙度达到366nm,相比未采用预处理工艺的表面粗糙度94.5nm,可以大大提高金刚石形核密度,并且处理后钴的成分含量从6%减低到0.4%,在很大程度上提高了金刚石涂层与衬底之间的附着强度。研究结果还表明制备的金刚石涂层均匀且具有较好的表面质量。
- 张东灿沈彬孙方宏彭东辉
- 关键词：金刚石薄膜表面粗糙度附着力涂层
- 大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备被引量：1
- 2009年
- 应用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,并采用合适的衬底预处理方法和优化的工艺参数,在大孔径硬质合金内孔表面沉积了金刚石薄膜。分别采用SEM、EDS和喇曼光谱依次对衬底预处理前后内孔表面及沉积的金刚石薄膜进行了表征,并通过压痕实验评估了薄膜的附着强度。该压痕实验结果与薄膜的SEM及喇曼光谱表征的结果具有一致性。结果表明:采用合适的衬底预处理方法和优化的HFCVD工艺,可以在大孔径硬质合金内孔表面沉积高质量的金刚石薄膜。
- 郑华孙方宏彭东辉
- 关键词：金刚石薄膜热丝化学气相沉积
