国家自然科学基金(51205113)
- 作品数：5 被引量：23H指数：4
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- 飞秒激光烧蚀不锈钢的实验研究被引量：6
- 2015年
- 进行了飞秒激光烧蚀不锈钢(SUS420)的工艺实验研究。采用波长为780nm,脉宽为164fs,频率为1k Hz的飞秒激光照射不锈钢。对比分析了长短脉冲激光烧蚀不锈钢的作用过程,计算了单脉冲飞秒激光烧蚀不锈钢的烧蚀阈值和烧蚀阈值随脉冲数量改变的累计系数,研究了不同激光参数烧蚀不锈钢的工艺规律。结果表明:飞秒激光烧蚀金属材料的过程中对加工区域周围具有较小的热影响;单脉冲飞秒激光烧蚀不锈钢的烧蚀阈值为0.25J/cm2,烧蚀阈值随脉冲数量改变的累计系数为0.68;飞秒激光脉冲能量对烧蚀孔孔径的增加比较明显,脉冲数量对烧蚀孔孔深的增加比较显著。
- 刘春生李明星齐立涛
- 关键词：飞秒激光激光微细加工不锈钢烧蚀阈值
- 真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究被引量：6
- 2014年
- 通过倍频Nd∶YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266 nm的激光,研究了单晶硅（Si）对不同波长固体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶Si的烧蚀特征。结果表明,单晶Si对波长为100~370 nm的紫外激光具有很好的吸收效果;在其他条件相同时,532 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=30μJ）是355和266 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep=15μJ）的2倍;532、355和266 nm的激光烧蚀单晶Si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。
- 齐立涛
- 关键词：激光波长单晶硅烧蚀阈值
- 266 nm紫外固体激光在碳化硅晶片上的微结构加工被引量：5
- 2017年
- 紫外固体激光微细加工以其独特优势,成为微结构加工的重要方法之一,尤其对硬脆难加工类宽带隙材料的微细加工。利用266 nm紫外固体激光微细加工系统,在宽带隙材料Si C上进行实验研究。应用扫描电子显微镜和光学显微镜等检测技术对样件进行检测。采用紫外固体激光静态照射Si C晶片表面,紫外固体激光烧蚀孔径和单脉冲能量的关系,计算266 nm紫外固体激光烧蚀Si C晶片的烧蚀阈值。通过直线扫描实验,在不同实验条件下,在Si C晶片表面加工微槽,获得微槽的宽度和深度与激光主要参数之间的关系。结果表明:激光能量密度可以改变槽宽和槽深,而扫描次数对槽宽基本无影响,而对槽深影响较大。利用聚焦的紫外固体激光束沿着轨迹扫描,在Si C晶片上加工出典型的微细结构,实现微细结构的精密加工。
- 齐立涛刘文海
- 关键词：SI微槽
- 平整机机架加工工段平面布置优化设计被引量：1
- 2014年
- 为解决平整机机架加工工段现场搬运次数多、搬运距离长、物流路径出现交叉浪费等问题,应用程序分析方法,结合工业工程(IE)提问技术以及ECRS 4大原则,对生产流程进行优化改善;在简化加工过程的基础上,增设必要的辅助部门;基于系统布置设计(SLP)原理进行平面布置优化,分析作业单位相互关系,给出相关图解,并考虑修正因素和实际条件的限制,设计出两套可行的布置方案;应用加权因素法,进行方案的评价择优,从而确定出最佳方案,最终节约生产时间37 h,缩短物流路径15 m。通过优化设计,可有效降低生产成本,减少安全隐患,方便管理,保障服务,进而提高加工效率,并为制造系统平面布置提供借鉴和参考。
- 周平芦其威任志平
- 关键词：系统布置设计
- 激光切割表面形貌的分形插值模拟分析被引量：5
- 2014年
- 以实测激光切割表面轮廓高度数据为基础,获取不同采样间距的插值基础数据,应用三维表面分型插值算法,对激光切割表面形貌进行分形插值模拟,分析垂直比例因子和采样间距对模拟精度的影响。结果表明:模拟表面形貌与实测轮廓相似程度随着垂直比例因子hi,j的减小而提高,当hi,j小于某一特定值时,表面形貌特征无明显变化;随着采样间距Lc的减小,分形插值表面所包含的微观形貌信息越来越多,逐渐接近真实的激光切割表面形貌,且相对于实测表面的D和Ra值波动均不大,说明分形插值表面具有很高的模拟精度。因此,利用分形插值模拟表面可以对激光切割表面进行有效的切割质量评价和形貌特征分析。
- 赵林耿雷齐立涛
- 关键词：分形插值激光切割迭代函数表面形貌
