山东省自然科学基金(2008A34)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：贾翠萍朱化凤朱海丰更多>>
- 相关机构：中国石油大学（华东）更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 静电驱动光开关的结构设计与驱动电压分析被引量：2
- 2010年
- 对静电驱动光开关的驱动结构进行了研究分析,对比分析了采用平面下电极和倾斜下电极两种驱动结构光开关的驱动电压。采用倾斜下电极光开关的pull-in电压较低,在此基础之上,提出了一种双倾斜电极三明治驱动结构光开关。在微反射镜偏移相同距离时,该种驱动结构光开关的pull-in电压更低,从而能够更进一步地提高光开关的性能。
- 贾翠萍朱化凤
- 关键词：光开关驱动电压静电驱动
- MEMS光开关静电驱动结构的研究被引量：1
- 2010年
- 对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计,考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大,会对光开关的性能产生一定影响,提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构,该种结构能够实现大面积微反射制作的同时,而不提高光开关的驱动电压,具有结构紧凑,便于集成的优点。采用该悬臂驱动结构,成功制作了8×8光开关阵列,单面微反射镜面积达到180μm×600μm,在65V的驱动电压下,能够实现微反射镜180μm的大位移。
- 贾翠萍朱海丰
- 关键词：微反射镜驱动电压
