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吉林大学研究生创新基金资助(501038)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：刘彩霞玄伟王国东陈维友董玮更多>>
相关机构：吉林大学更多>>
发文基金：吉林大学研究生创新基金资助吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇驱动器
  • 1篇微驱动
  • 1篇微驱动器
  • 1篇静电
  • 1篇静电驱动
  • 1篇臂式
  • 1篇N
  • 1篇PULL

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇孙东明
  • 1篇董玮
  • 1篇陈维友
  • 1篇王国东
  • 1篇玄伟
  • 1篇刘彩霞

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析被引量：3
2006年
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
孙东明董玮玄伟刘彩霞王国东陈维友
关键词：微驱动器静电驱动
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共1页<1>
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