上海市科委纳米专项基金(0259nm087)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：张志祥李民乾吴宪平更多>>
- 相关机构：中国科学院上海应用物理研究所复旦大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：生物学电子电信更多>>
- AFM氮化硅纳米探针研制被引量：2
- 2006年
- 在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑,用LPCVD和PECVD法淀积一层约1μm厚的氮化硅膜,通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上,最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁就暴露出来,从而构成可用于原子力显微镜(AFM)描绘纳米图像的氮化硅纳米探针。对针尖的尖度和氮化硅膜悬臂梁的热应力补偿进行了深入研讨,并报道一种特殊而有效的悬臂梁掩模板图形的新设计。制成的氮化硅纳米探针在原子力显微镜上成功地描绘出了纳米图像,经检测,其Z向偏转检测精度优于10-9量级。
- 吴辰凯张波吴宪平
- 关键词：氮化硅纳米探针AFM
- 电场驱动微悬臂生物传感器及对DNA的快速、高灵敏度检测被引量：4
- 2005年
- 微悬臂列阵传感器在生物检测方面具有快速、痕量和非标记的特性. 我们以镀金并在其上固定了DNA探针的微悬臂为正极,在靶杂交液槽内引入另一电极作为负极,构成电场驱动微悬臂DNA生物传感器. 对该传感器系统施加静电场,驱动DNA分子朝正极迁移,使溶液中的DNA分子富集在微悬臂上,促进DNA分子的杂交. 结果表明:a. DNA在微悬臂上的杂交时间仅需3 min,加快了微悬臂生物传感器对DNA分子的检测速度;b. 提高了微悬臂生物传感器的灵敏度,可以检测到皮克级的DNA分子.
- 张志祥李民乾
- 关键词：微悬臂生物传感器电场
