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中国航空科学基金(02151018)

作品数:2 被引量:29H指数:2
相关作者:樊尚春彭春荣蔡晨光更多>>
相关机构:北京航空航天大学更多>>
发文基金:中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇调频
  • 1篇调频信号
  • 1篇信号
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式传感器
  • 1篇压阻特性
  • 1篇品质因数
  • 1篇温度补偿
  • 1篇温度特性
  • 1篇线性调频
  • 1篇线性调频Z变...
  • 1篇线性调频信号
  • 1篇谐振频率
  • 1篇谐振式传感器
  • 1篇硅传感器
  • 1篇硅压阻

机构

  • 2篇北京航空航天...

作者

  • 2篇樊尚春
  • 1篇彭春荣
  • 1篇蔡晨光

传媒

  • 1篇测控技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
硅压阻式传感器的温度特性及其补偿被引量:22
2003年
基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ,讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ,特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ,设计、选择了加工工艺 ,给出了压敏电阻的近似温度补偿公式 。
樊尚春彭春荣
关键词:温度特性温度补偿硅传感器压阻特性
基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统被引量:7
2004年
给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。
蔡晨光樊尚春
关键词:谐振频率品质因数线性调频信号线性调频Z变换
共1页<1>
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