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中国航空科学基金(02151018)
作品数:
2
被引量:29
H指数:2
相关作者:
樊尚春
彭春荣
蔡晨光
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相关机构:
北京航空航天大学
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发文基金:
中国航空科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
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作者
2篇
樊尚春
1篇
彭春荣
1篇
蔡晨光
传媒
1篇
测控技术
1篇
微纳电子技术
年份
1篇
2004
1篇
2003
共
2
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硅压阻式传感器的温度特性及其补偿
被引量:22
2003年
基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ,讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ,特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ,设计、选择了加工工艺 ,给出了压敏电阻的近似温度补偿公式 。
樊尚春
彭春荣
关键词:
温度特性
温度补偿
硅传感器
压阻特性
基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统
被引量:7
2004年
给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。
蔡晨光
樊尚春
关键词:
谐振频率
品质因数
线性调频信号
线性调频Z变换
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