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浙江省科技厅项目(2010R50020)
作品数:
1
被引量:5
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相关作者:
陈丹
叶志镇
黄靖云
吕建国
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相关机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
浙江省科技厅项目
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相关领域:
理学
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性能研究
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透明电极
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脉冲激光
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脉冲激光沉积
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AZO薄膜
1篇
GAN基LE...
机构
1篇
浙江大学
作者
1篇
吕建国
1篇
黄靖云
1篇
叶志镇
1篇
陈丹
传媒
1篇
无机材料学报
年份
1篇
2013
共
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AZO薄膜用于GaN基LED透明电极的性能研究
被引量:5
2013年
采用脉冲激光沉积法制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同沉积氧压下薄膜的光电性能。当沉积压强为0.1 Pa时,AZO薄膜光电性能最优。将该薄膜用于GaN基LED透明电极作为电流扩展层,在20 mA正向电流下观察到了520 nm处很强的芯片发光峰,但芯片工作电压较高,约为10 V,芯片亮度随正向电流的增大而增强。二次离子质谱测试表明,AZO薄膜与GaN层界面处两种材料导电性能的变化以及钝化层的形成是导致芯片工作电压偏高的原因。
陈丹
吕建国
黄靖云
金豫浙
张昊翔
叶志镇
关键词:
AZO薄膜
GAN基LED
透明电极
脉冲激光沉积
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