国家教育部博士点基金(20040574008)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关机构：华南师范大学华南农业大学更多>>
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- 相关领域：核科学技术理学自动化与计算机技术更多>>
- ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析被引量：1
- 2009年
- 为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能量分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究。原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度。改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大。低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显。改变基底直流偏压,对得到的发射光谱强度变化分析表明,谱线强度随基底正偏压的增加而增大。随着基底负偏压的加入,谱线强度先减小而后增大;直流偏压为-30V时,光谱强度最弱。快速离子和电子是引起Ar激发和电离过程的主要能量来源。
- 赵文锋陈俊芳孟然
- 关键词：发射光谱感应耦合等离子体
- 基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统
- 2008年
- 该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率.得到了放电气压0.25 Pa、射频13.56MHz、功率200 W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度.
- 史磊陈俊芳符斯列杨春林黄孟祥赖秀琼张洪滨
- 关键词：等离子体源FPGA朗谬尔探针
- 微波放电氢等离子体的特性诊断和分析被引量：2
- 2008年
- 在微波等离子化学气相沉积装置中,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系,还分析了Hα(656.3 nm)的峰值强度与气压和功率的关系,得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性.
- 杨春林陈俊芳符斯列史磊张洪宾黄孟祥赖秀琼
- 关键词：LANGMUIR探针等离子体密度发射光谱
