上海市重大科技攻关项目(05DZ11001)
- 作品数:2 被引量:7H指数:2
- 相关作者:王栋马小峰李大磊胡书杰朱文华更多>>
- 相关机构:郑州大学上海大学更多>>
- 发文基金:上海市重大科技攻关项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- PECVD热流场数值模拟的可视化研究被引量:3
- 2008年
- 利用数值模拟的温度场、速度场的数据与虚拟现实系统开发的软件开发包Open Inventor接口,结合C++语言在VC平台上实现了PECVD(等离子体增强化学气相沉积)反应室内气体的温度场和速度场的可视化。可视化结果能够准确直观地展示PECVD反应室内气体的温度场和速度场分布情况,为反应室内结构优化设计提供合理化建议;该可视化具有"沉浸感",为优化PECVD生长氮化硅薄膜的工艺参数提供依据,对于使用PECVD生长高质量薄膜材料的太阳能电池具有现实意义。
- 胡贵华朱文华俞涛王栋
- 关键词:数值模拟可视化沉浸感
- 基于引擎机制的PECVD工作过程的虚拟仿真被引量:4
- 2008年
- 讨论了卧式PECVD的工作原理,对虚拟加工过程中仿真实现的关键技术进行了研究.基于Open Inventor开发平台强大的引擎机制,用程序实现了连续式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统(In-line PECVD System)的虚拟加工工作过程的仿真,从而保证物理样机的设计成功率、减少物理样机的设计与试制时间.
- 王栋马小峰李大磊胡书杰
- 关键词:虚拟现实
- 三齿轮连杆机构传动特性分析及设计
- 根据三齿轮连杆机构的传动函数,分析该机构的三种输出特性,即单向连续转动、带瞬停的单向连续转动、以及带回转的单向连续转动;在此基础上,建立机构运动综合的实用工具,可根据给定的输出类型,给出选型条件,确定机构的运动尺寸范围等...
- 李桂琴邵萍陆利新
- 文献传递