江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(06-E-030)
- 作品数：15 被引量：94H指数：6
- 相关作者：陈磊王军徐晨刘晨武旭华更多>>
- 相关机构：南京理工大学合肥工业大学苏州科技学院更多>>
- 发文基金：江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 一种标定Soleil-Babinet补偿器的新方法被引量：1
- 2009年
- 提出了一种高精度标定索累-巴比涅(Soleil-Babinet)补偿器的新方法。在光谱扫描法测量系统中,将多级半波片置于被测补偿器后,以半波片的延迟量为基准,高精度地标定出补偿器的延迟量所对应的测微丝杆位移。该方法利用光强透过率和波长的关系得到延迟量,避免了光强值直接测量法误差源多、精度不高的缺点;同时解决了光谱扫描法不易测量零级相位器件的问题。实验中以工作波长为633nm的多级半波片为基准,对Soleil-Babinet补偿器进行标定。分析表明,该方法在确定延迟量为0和λ的位置时,精度可达0.45nm;0～λ范围之间的延迟量最大测量误差仅为3.2nm。
- 王军陈磊尹嘉懿师丽丽
- 关键词：分光光度计延迟量
- 干涉仪准直系统波前质量检测被引量：10
- 2008年
- 为保证干涉仪的测量精度需严格控制其准直光路中平行光束波前质量,以口径150 mm的扩束镜出射波面为测试对象在Zygo干涉仪上设计实验,采用五棱镜扫描法逐条测试扩束镜某一方向上出射波面法线的微小变化量,实现一种精度高而又经济的大口径波面测试。实验结果与Zygo的测试结果相吻合,证实了这种方法的可行性。同时分析了实验装置与环境对测试精度的影响。
- 武旭华陈磊肖韶荣
- 关键词：五棱镜干涉仪质心算法
- 一种基于白光干涉色色调信息测量光学玻璃内应力的方法
- 光学玻璃在退火不均匀或者受到外界压力时都会在其内部产生应力,从而呈现出双折射性质,严重影响光学元件的质量,本文提出了一种基于白光干涉色的色调值计算光学玻璃内应力的方法。在白光正交偏振系统中利用HSV色度系统分析白光干涉色...
- 王军陈磊吴泉英刘辰
- 关键词：内应力色调
- 文献传递
- 光干涉方法在角度偏差测量中的应用被引量：5
- 2008年
- 介绍了应用光学干涉原理测量棱镜光学平行差的方法。棱镜可等效展开为玻璃平板,其入射面与出射面的光程差恒定,通过波长调谐方法,改变等效玻璃平板之间的位相差,从而用移相干涉术测量了光学棱镜的光学平行差。介绍了一种立方体玻璃90°偏差测量的新方法,斐索干涉仪的测试光束以45°入射到立方体玻璃内,入射波面经立方体90°二面角自准直反射,与干涉仪参考波面相干形成干涉图。分析了干涉波面与立方体玻璃二面角误差之间的关系,并通过移相式干涉仪给出了实测结果。
- 陈磊王青何勇
- 关键词：移相干涉术
- 干涉仪标准面非旋转对称误差的消除被引量：3
- 2010年
- 提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数。测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布。比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果，符合较好。分析了测量误差。该方法仅需两次测量，可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差。
- 徐晨陈磊乌兰图雅
- 关键词：计量学旋转不变性
- 相位拼接闭合条纹干涉图处理技术
- 2011年
- 二维傅里叶变换法处理闭合条纹干涉图时,解调的相位含有符号突变。为矫正符号偏差,提出一种算法,通过一对正交的半侧低通滤波器得到4个含有符号突变的相位面,将其中符号正确的部分进行拼接以得到正确的相位分布。该方法计算量小,并且能有效避开符号突变位置的相位失真区域;选择了合适的滤波窗,并对干涉条纹圆心附近区域的相位进行单独低通滤波处理,使计算精度进一步提高。在算法的仿真实验中,处理了球差、像散、彗差3组典型的仿真干涉图,解调精度可优于λ/50;对实际干涉图进行了分析处理,并与Zygo移相干涉仪测试结果进行了比对,结果吻合较好。
- 李博陈磊边疆王军
- 关键词：相位恢复光学测量傅里叶变换
- 一种基于白光迈克耳孙干涉仪波片延迟量的测量方法被引量：13
- 2011年
- 将白光偏振干涉和迈克耳孙干涉仪相结合,提出了一种利用空间白光干涉图测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。白光偏振干涉系统产生两束振动方向相同的线偏光,进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射,并两两干涉,在空间形成3组白光干涉包络。当被测件为多级波片时,根据白光干涉包络之间的光程差就可求得被测延迟量;当被测件为低级次波片时,利用白光干涉信号相位的改变量计算出延迟量的值。实验分别测量了多级波片和零级全波片的延迟量,其结果与使用光谱扫描法测量得到的结果均相吻合。
- 王军陈磊吴泉英姚庆香
- 关键词：波片延迟量
- φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试被引量：13
- 2007年
- 针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ,RMS的差值为0.005λ。实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求。
- 武旭华陈磊王磊
- 关键词：应用光学有限元法
- 基于空间频域算法的白光干涉微位移测量法被引量：6
- 2008年
- 为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求,提高微位移器位移量的测量精度,在对传统的接触式干涉仪改造的基础上,采用空间频域算法计算出了白光干涉图零级条纹的中心位置,并根据零级条纹中心的移动量得到待测的微位移量。该方法能够测量连续和阶跃变化的位移量。实验以压电陶瓷微位移装置(PZT)为例,测试了其电压-位移曲线,测量重复性达到1nm。结果表明,该方案稳定有效,不易受噪声和色散的影响,测量重复性好。
- 王军陈磊
- 关键词：微位移测量接触式干涉仪
- 同步移相干涉的测量性能被引量：11
- 2007年
- 详细分析了一种基于二维正交光栅衍射的同步移相干涉测量系统的组成结构,包括干涉系统、空间分光部件、偏振移相部件以及图像采集与处理系统。选择了二维正交透射光栅的四个衍射级次的光束作为测试光,理论和实验都证明这种方案具有良好的分光效果;用偏振方向依次改变45°的四片偏振片构成偏振阵列作为移相器件,并根据空间一致性要求,分割得到依次具有90°移相的四幅独立干涉图,获得了较高的移相精度;在幅频积低于100 Hzλ的振动环境中,系统测量重复性的峰谷值优于0.02λ,可以用于一般的在线检测和动态测量。
- 左芬陈磊徐晨
- 关键词：抗振技术同步移相
