国际科技合作与交流专项项目(2007DFA60620)
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 相关作者：陈军毛昌辉王树茂黄倬蒋利军更多>>
- 相关机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- TiVCrFe固溶体合金放氢过程中结构的变化被引量：3
- 2010年
- 采用XRD、中子衍射、原位变温X射线衍射和热重分析对Ti29.25Cr26.59V37.25Fe6.91Ce1.10合金的放氢特性进行研究。结果表明:合金氘化物(平衡压为2MPa)中主相金属原子占据4a位置,大部分氘占据8c位置,合金氘化物具有FCC结构。合金氢化物在放氢过程中发生两次相变,其中,在较低温度下发生的相变对应于含氢量高的β氢化物向含氢量低的α氢化物的转变,而在较高温度下的相变则对应于α氢化物向无氢BCC合金相的转变。β氢化物具有变形的FCC结构(P4/mmm),α氢化物具有BCT结构(I4/mmm)。
- 黄倬F.CUEVAS刘晓鹏蒋利军王树茂M.LATROCHE杜军
- 铝铜互连线电迁移失效的研究被引量：8
- 2009年
- 随着大规模集成电路的不断发展,互连线失效已经成为影响集成电路可靠性的主要因素之一。在铝互连线中添加铜元素是常用的改善电迁移性能的方法,采用直流磁控溅射法用铝及铝铜合金靶材在硅基片上沉积了薄膜,并通过光刻、刻蚀制成互连线,通过电迁移加速寿命试验研究了温度和电流密度对Al-Cu互连线电迁移寿命的影响,分析了材料电迁移的热力学过程,推导了Al-Cu互连线的电迁移失效中值时间计算公式。
- 陈军毛昌辉
- 关键词：互连线电迁移加速寿命试验
