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陕西省教育厅科研计划项目(12JK0662)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：常婷刘冲郭俊杰邵伟更多>>
相关机构：西安交通大学西安理工大学更多>>
发文基金：陕西省教育厅科研计划项目更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇扫描测量
  • 1篇随动
  • 1篇翘曲度
  • 1篇基板玻璃
  • 1篇计量学
  • 1篇测量技术

机构

  • 1篇西安理工大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇邵伟
  • 1篇郭俊杰
  • 1篇刘冲
  • 1篇常婷

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基板玻璃翘曲度的精密随动测量技术
2013年
针对大尺寸基板玻璃翘曲度的精密测量，提出基于实时整定多项式权值的广义最小方差（RAPW_GMV）随动扫描测量方法。主要思想是根据实时估计的被控对象参数及RAPW_GMV输出误差修正多项式的权值，实现测头自动跟踪扫瞄测量。实验证明，该方法小位移精密测头自动测量未知曲面的跟踪误差优于0．02mm，实现了基板玻璃翘曲度的快速、高精度自动测量。
邵伟郭俊杰常婷刘冲
关键词：计量学翘曲度
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共1页<1>
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