浙江省重中之重学科开放基金(56310202018)
- 作品数：3 被引量：15H指数：2
- 相关作者：朱从容袁巨龙吕冰海李伟于天明更多>>
- 相关机构：浙江工业大学浙江海洋学院湖南大学更多>>
- 发文基金：浙江省重中之重学科开放基金国家自然科学基金浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 基于田口方法的合金薄膜铜衬底超精密抛光工艺优化研究被引量：2
- 2008年
- 为了获得性能优良的电化学沉积合金薄膜,需要精度非常高的合金薄膜铜衬底。以铜衬底表面粗糙度Ra和Rt为评价目标,探讨了基于田口方法的铜衬底抛光工艺参数优化设计方法。在给定工件材料和磨料(种类和粒度)的条件下,加工载荷、磨料浓度和加工速度是影响铜衬底抛光表面质量的主要工艺参数。运用田口方法进行了实验设计,并通过对实验结果的分析,得出了最佳的抛光工艺参数组合,采用该实验条件进行加工获得了非常光滑的铜衬底表面(Ra6 nm,Rt60 nm),表明田口方法能够有效的应用于铜衬底抛光工艺参数的优化设计和分析。
- 朱从容袁巨龙吕冰海文东辉
- 关键词：田口方法抛光
- 氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究被引量：9
- 2010年
- 为探究氮化硅陶瓷球化学机械抛光过程及磨料与工件材料的相互作用规律,选用四种不同的磨料对氮化硅陶瓷球进行了抛光实验。通过对抛光后表面粗糙度的检测,讨论了不同种类磨料对工件表面粗糙度的影响。利用SEM观测工件表面形貌,探讨了不同磨料对工件的材料去除方式。采用X射线衍射技术分析了水基CeO2磨料抛光氮化硅陶瓷球后工件表面的化学反应生成物,对化学机械抛光的热力学分析进行了验证,分析了其化学机械作用过程。结果表明,CeO2是抛光氮化硅陶瓷球非常有效的一种磨料,利用水基CeO2抛光液对氮化硅陶瓷球进行化学机械抛光,获得了表面粗糙度Ra为4nm的光滑表面。
- 朱从容吕冰海袁巨龙
- 关键词：氮化硅陶瓷球化学机械抛光固相反应X射线衍射
- 铸铁结合剂金刚石砂轮ELID磨削硬质合金的性能研究被引量：4
- 2008年
- 硬质合金具有硬度高、强度好、耐腐蚀和耐磨损的特点,采用传统方法难以满足精密及超精密加工的技术要求。本文采用不同粒度的铸铁结合剂金刚石砂轮ELID镜面磨削硬质合金,得到了不同加工效率以及不同加工表面质量的硬质合金磨削效果,揭示了不同粒度砂轮其磨削性能变化的规律与作用。实验结果表明:在相同的进给量下,粗粒度砂轮的磨削效率较高,能更好地控制工件的尺寸精度。细粒度砂轮则磨削效率较低,但能获得优良的加工表面质量。砂轮表面的氧化膜在磨削过程中扮演非常重要的角色,磨粒的粒径与砂轮表面氧化膜厚度的比值大小决定了砂轮的磨削性能。氧化膜的形成又受到电解参数的影响,可以通过对电解参数的调节实现高效率高精度的ELID磨削。
- 朱从容李伟于天明
- 关键词：在线电解修整
