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国家高技术研究发展计划(2005AA319020)
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陆敏
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GaN/AlGaN超晶格透射电镜分析
2005年
用MOCVD法生长了120周期的GaN/Al0.14Ga0.86N超晶格,激光剥离技术被有效地用于GaN/AlGaN超晶格截面透射电镜样品的制作.用透射电子显微镜观察到了清晰的超晶格及晶胞周期结构,电子衍射也表明生长的超晶格样品质量较好.在透射电镜图中看到了Al,Ga原子的聚居点,这些聚居点达到应力临界时将可能成为新缺陷的起点.同时观察到GaN缓冲层中的线缺陷大多呈现弯曲的弧形,这是外延生长导致的.
陈伟华
胡晓东
章蓓
黎子兰
潘尧波
胡成余
王琦
陆羽
陆敏
杨志坚
张国义
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透射电镜
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