吉林省青年科研基金(20100111)
- 作品数：3 被引量：10H指数：1
- 相关作者：唐吉龙董连和孙艳军冷雁冰韩旭更多>>
- 相关机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：吉林省青年科研基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 掺氮类金刚石薄膜的微观结构和光学特性研究被引量：1
- 2012年
- 采用射频等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备掺氮类金刚石薄膜(DLC:N),通过原子力显微镜,拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究,实验结果表明,在薄膜中,氮元素主要以C=N键的形式存在,起到了降低薄膜内应力,提高薄膜附着力的作用;此外,通过控制掺氮量可以制得折射率在1.85～1.6范围内的DLC薄膜。
- 韩旭唐吉龙
- 关键词：类金刚石薄膜原子力显微镜拉曼光谱椭圆偏振光谱
- 1×11亚波长结构Dammann光栅的研制被引量：9
- 2014年
- 论文基于严格耦合波理论(Rigorous Coupled-Wave Analysis,RCWA),并采用遗传算法进行优化,设计并制作了一种具有高衍射效率的亚波长结构Dammann光栅。光栅的分束比为1×11,最小特征尺寸为0.95μm,衍射效率设计值达到95%,优于传统Dammann光栅约15%,且均匀性设计值小于2%。论文采用电子束光刻直写技术和反应离子刻蚀技术在石英基底上制作出亚波长结构图形。实验结果表明,电子束扫描曝光可以获得纳米级的图形分辨率。对石英基底的反应离子刻蚀中,射频功率、工作气压及气体流量均对刻蚀速率和栅线的表面形貌产生不同程度的影响,论文主要针对该问题进行了讨论。同时,论文也对电子束光刻直写过程中产生的线宽误差因素进行了分析。
- 冷雁冰董连和孙艳军
- 关键词：亚波长结构衍射效率均匀性
- 锗基底的红外增透膜的研究
- 2012年
- 类金刚石薄膜因其优异的物理化学性能而具有广泛的应用,本文结合于锗在红外光学应用所具有不足,采用化学气相沉积方法,在锗基底表面制备类金刚石膜作为红外增透膜。对制备的样品进行傅立叶红外光谱和红外透射光谱进行测试,测试结果表明,类金刚石膜是锗基底的理想的红外增透膜。
- 唐吉龙
- 关键词：锗化学气相沉积类金刚石红外
