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安徽省高等学校优秀青年人才基金(2011SQRL179)

作品数：2 被引量：6H指数：2
相关作者：钱剑钊龚伟黄强先李瑞君范光照更多>>
相关机构：合肥工业大学安徽电气工程职业技术学院台湾大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇三坐标
  • 1篇三坐标测量
  • 1篇三坐标测量机
  • 1篇数值孔径
  • 1篇透镜
  • 1篇坐标测量机
  • 1篇稳定性分析
  • 1篇量程
  • 1篇纳米三坐标测...
  • 1篇聚焦透镜
  • 1篇NANO
  • 1篇STABIL...
  • 1篇CONTAC...
  • 1篇MICRO
  • 1篇测量机
  • 1篇大量程

机构

  • 2篇安徽电气工程...
  • 2篇合肥工业大学
  • 1篇台湾大学

作者

  • 2篇李瑞君
  • 2篇黄强先
  • 2篇龚伟
  • 2篇钱剑钊
  • 1篇苗晋伟
  • 1篇范光照

传媒

  • 1篇合肥工业大学...
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine被引量：2
2012年
李瑞君范光照钱剑钊黄强先龚伟苗晋伟
关键词：稳定性分析
基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头被引量：4
2011年
DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。
李瑞君钱剑钊龚伟黄强先
关键词：聚焦透镜数值孔径量程
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