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安徽省高等学校优秀青年人才基金(2011SQRL179)
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
相关作者:
钱剑钊
龚伟
黄强先
李瑞君
范光照
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相关机构:
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发文基金:
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2012
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Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine
被引量:2
2012年
李瑞君
范光照
钱剑钊
黄强先
龚伟
苗晋伟
关键词:
稳定性分析
基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头
被引量:4
2011年
DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。
李瑞君
钱剑钊
龚伟
黄强先
关键词:
聚焦透镜
数值孔径
量程
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