您的位置： 专家智库 > >

上海市科委光科技专项(046105006)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：刘玉菲高翔吴亚明李四华更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：上海市科委光科技专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇驱动器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李四华
  • 1篇吴亚明
  • 1篇高翔
  • 1篇刘玉菲

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
微机电系统扭转微镜面驱动器的研制被引量：8
2006年
提出了一种新颖的采用键合减薄工艺制作的微机电系统扭转微镜面驱动器,该种微镜面驱动器工艺制作简便可行.通过对研制的微镜面驱动器进行测试,该驱动器在18V驱动电压时可以达到0.3°的扭转角度,微镜面的频率响应时间小于1ms.同时该驱动器具有较大的微反射镜面,面积达到600μm×700μm,试验结果表明微镜面驱动器将可以应用于光通信领域.
李四华刘玉菲高翔吴亚明
关键词：微机电系统驱动器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0