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国家重点实验室开放基金(SKLT04-02)

作品数:1 被引量:3H指数:1
相关作者:于翔王成彪更多>>
相关机构:中国地质大学(北京)更多>>
发文基金:国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇碳膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石碳膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法

机构

  • 1篇中国地质大学...

作者

  • 1篇王成彪
  • 1篇于翔

传媒

  • 1篇润滑与密封

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
中频磁控溅射法制备厚类金刚石碳膜被引量:3
2006年
采用中频对靶磁控法在M2高速钢基片上合成了厚达6μm的含铬类金刚石碳(DLC)薄膜,初步考察了中频磁控溅射工艺参数、DLC薄膜的多层梯度结构及薄膜力学和摩擦性能间的关系。结果表明,薄膜表面平滑,具有致密的多层梯度结构,在2.45 N载荷下维氏硬度为HV 2 560,结合力的临界载荷为52 N,且在较长滑动距离内平均摩擦因数为0.09。
于翔刘阳王成彪于德洋
共1页<1>
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