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国家重点实验室开放基金(SKLT04-02)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
于翔
王成彪
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相关机构:
中国地质大学(北京)
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
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磁控溅射
1篇
磁控溅射法
机构
1篇
中国地质大学...
作者
1篇
王成彪
1篇
于翔
传媒
1篇
润滑与密封
年份
1篇
2006
共
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中频磁控溅射法制备厚类金刚石碳膜
被引量:3
2006年
采用中频对靶磁控法在M2高速钢基片上合成了厚达6μm的含铬类金刚石碳(DLC)薄膜,初步考察了中频磁控溅射工艺参数、DLC薄膜的多层梯度结构及薄膜力学和摩擦性能间的关系。结果表明,薄膜表面平滑,具有致密的多层梯度结构,在2.45 N载荷下维氏硬度为HV 2 560,结合力的临界载荷为52 N,且在较长滑动距离内平均摩擦因数为0.09。
于翔
刘阳
王成彪
于德洋
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