您的位置: 专家智库 > >

国家自然科学基金(61001048)

作品数:1 被引量:2H指数:1
相关作者:孔伦虞成夏敦柱更多>>
相关机构:东南大学更多>>
发文基金:江苏省自然科学基金国家自然科学基金教育部重点实验室基金更多>>
相关领域:交通运输工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇交通运输工程

主题

  • 1篇正交
  • 1篇十字梁
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微陀螺
  • 1篇硅微陀螺仪

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇夏敦柱
  • 1篇虞成
  • 1篇孔伦

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
四模态匹配三轴硅微陀螺仪被引量:2
2013年
为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元,提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理,根据结构参数计算出了详细的性能指标,并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真。为提高各敏感模态的机械灵敏度,提出采用双重静电频率调谐方案,即先对公共质量块施加调谐电压,使驱动模态和航向模态的频差最小;再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压,最终使四模态频率偏差小于30 Hz,从而说明该频率调谐方法是有效的。然后,通过分析热弹性阻尼能量耗散机理,对驱动及敏感谐振模态的品质因数进行仿真。结果表明:真空环境不考虑空气阻尼情况下,两种模态的品质因数分别为23816和19 507。最后,基于表面加工和体加工工艺,设计了高深宽比的加工流程。对该四方对称解耦结构的设计和仿真表明其模态匹配和品质因数性能满足三轴陀螺的设计要求。
夏敦柱孔伦虞成
共1页<1>
聚类工具0