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安徽高校省级自然科学研究基金(KJ2010A284)
安徽高校省级自然科学研究基金(KJ2010A284)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 相关作者：吕建国宋学萍孙兆奇汪小小夏齐萍更多>>
- 相关机构：合肥师范学院安徽大学安徽建筑工业学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- Na掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质被引量：1
- 2010年
- 采用溶胶-凝胶技术制备不同Na掺杂ZnO薄膜,用XRD、拉曼光谱仪、AFM、SEM和紫外可见分光光度计等表征方法研究了Na掺杂量对ZnO薄膜的表面形貌和光学性质的影响。XRD和Raman光谱分析表明:8.0 at%Na掺杂ZnO薄膜具有最佳c轴择优取向,内部残余张应力最大;表面形貌研究结果显示:薄膜的平均粒径和粗糙度均随Na含量的增加而增大。薄膜在可见光范围内的平均透射率大于80%,随着Na含量从0增加到10at%,薄膜的光学带宽由3.283 eV增大到3.305 eV。
- 吕建国陈学梅朱剑博黄凯宋学萍孙兆奇
- 关键词：拉曼光谱表面形貌透射谱
- 射频反应磁控溅射制备ZnO薄膜的微结构及其光学性能被引量：1
- 2011年
- 采用射频反应磁控溅射技术在石英和Si衬底上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,样品的氧氩流量比分别为10:40,20:40,30:40,40:40。利用X射线衍射仪、表面轮廓仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了样品的微结构与光学特性。研究表明:氧氩流量比为30:40的样品结晶质量最好。所制备的ZnO薄膜的可见光平均透射率均大于87%。随着氧氩流量比的增大,薄膜的透射率呈非单调变化,氧氩流量比为30:40的样品在可见光范围的平均透射率可达93%。光学带隙随着氧氩流量比的增大,先增大后减小。与块材ZnO的带隙(3.37 eV)相比,ZnO薄膜的带隙均变窄。
- 夏齐萍汪小小吕建国宋学萍孙兆奇
- 关键词：射频反应磁控溅射ZNO薄膜微结构光学性能
- 氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响被引量：2
- 2011年
- 在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜。通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜结果显示,当O2/Ar流量比为3∶4时,所得薄膜结晶度最佳,表面粗糙度为0.725 nm;荧光光谱显示,ZnO薄膜在波长407 nm附近出现紫光发光峰,该发光峰源于氧空位浅施主能级到价带顶的电子跃迁,发射强度随O2/Ar流量比的增加先减小后增加。
- 汪小小夏齐萍吕建国宋学萍孙兆奇
- 关键词：ZNO薄膜反应溅射光致发光
- 射频磁控溅射制备SiO_2薄膜及性能表征被引量：3
- 2010年
- 采用射频磁控溅射技术,制备4种不同溅射时间的SiO2薄膜.用XRD、PL、FTIR、UV-Vis等对薄膜的微结构、发光、红外吸收以及透、反射进行表征.结果表明:SiO2薄膜仍呈四方晶体结构,平均晶粒尺寸在17.39～19.92nm之间;在430nm附近出现了发光峰,在1049～1022cm-1之间出现了明显的红外吸收峰,且随着溅射时间的增加发生红移;在可见光范围内平均透射率大于85%.
- 宋学萍黄飞吕建国孙兆奇
- 关键词：SIO2薄膜射频溅射PL谱红外吸收
