利用TaCl5-Ar-C3H6体系，采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积Tac涂层微观形貌及晶粒择优生长。结果表明：在800～1200℃时，随沉积温度升高，TaC颗粒从网球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体，而其晶体择优取向依次从无明显择优取向向〈220〉和H〈200〉转变；利用牛长参数α和VAN DER DRIFT,MEAKIN的纳米级晶粒选择生长模型可较好地解释不同形貌的生长机制。当a=3时，薄膜会优先生长成〈200〉择优取向的金字塔品粒；当a=1．5时，则容易生长成〈220〉取向的多角形品粒。
