国家自然科学基金(50705090)
- 作品数：2 被引量：15H指数：1
- 相关作者：叶树亮朱维斌朱善安岩君芳更多>>
- 相关机构：中国计量学院浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家质检公益性行业科研专项更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于相位跟踪原理的超精密定位平台研究被引量：15
- 2012年
- 为了满足超精密定位的需求,介绍了一种基于相位差跟踪的定位原理;针对该方法的具体要求,详细描述了系统的工作过程并设计完成了该定位系统,分别就定位系统关键的高频信号的发生、调理、鉴相以及驱动等模块进行了深入研究;对系统输出的线性度、迟滞、重复性和稳定性等指标进行了实验,并在考虑整个定位系统的组成部件、仪器设备等环节影响的基础上,进行了最终的定位系统不确定度合成,数据显示该定位系统最终的位移不确定度为6.10 nm。
- 朱维斌朱善安叶树亮岩君芳
- 关键词：相位跟踪超精密不确定度
- 外差干涉定位系统中的锁相跟踪方法
- 2014年
- 以外差干涉定位系统为研究对象,提出一种基于锁相跟踪的定位方法,简化了传统定位系统结构;就整个定位系统的工作过程及原理进行了说明,证明了锁相跟踪方法的可行性;讨论了系统工作过程中的核心功能环节的实现方法,分别对高频信号的发生、移相脉冲抑制以及鉴相过程进行详细说明。本文就鉴相电路功能和干涉锁相跟踪定位系统的输出进行了测试实验,实验结果证明高频鉴相电路输出准确度达到0.07o,锁相跟踪系统定位输出的合成不确定度为10.1 nm。
- 朱维斌朱善安叶树亮
- 关键词：外差干涉锁相相位差鉴相
