教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-04-0376)
- 作品数：9 被引量：46H指数：5
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- 相关机构：同济大学中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
- 窄带Mo／Si多层膜反射镜
- 本文设计并制备了窄带Mo／Si多层膜反射镜,工作波长为14 nm。利用高反射级次和减小Mo 层厚度两种方法减小Mo／Si多层膜反射镜光谱宽度。对Mo层厚度分别为2 nm和3 nm的Mo／Si多层膜, 设计了反射级次分别从...
- 吴文娟朱京涛王风丽张众王洪昌张淑敏王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：窄带EUV反射率
- 文献传递
- 50～110nm波段高反射率多层膜的设计与制备被引量：8
- 2007年
- 阐述了50～110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法．这种膜系是由强吸收材料叠加而成，每层膜光学厚度小于四分之一个波长．与常规周期多层膜相比，这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率．利用该方法设计了50nm处高反射多层膜，并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50～110nm强吸收波段宽带高反射率Si／W／Co多层膜的设计，其平均反射率达到45％．采用直流磁控溅射方法制备了Si／W／Co多层膜，用X射线衍射仪（XRD）对膜层结构进行了测试，测试结果表明制作出的多层膜结构与设计结构基本相符．
- 李存霞王占山王风丽朱京涛吴永荣王洪昌程鑫彬陈玲燕
- 关键词：多层膜极紫外高反射率磁控溅射
- 亚四分之一波长宽波段多层膜的设计被引量：1
- 2006年
- 简要阐述了强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法。这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长。与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率。利用该方法设计了50nm^110nm波段宽带高反膜的初始膜系,通过Levenberg-M arquart方法对初始膜系进行优化,从而得到宽波段的平坦反射率,其平均反射率达到45%。
- 李存霞朱京涛王风丽张众王洪昌王占山陈玲燕
- 关键词：多层膜极紫外宽波段高反射率
- 30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜被引量：10
- 2007年
- 波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
- 朱京涛张淑敏王蓓吴文娟李存霞徐垚张众王风丽王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：薄膜光学极紫外多层膜磁控溅射
- 类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制
- “水窗”及其附近波段的激光光源是生物显微成像、全息照相、等离子体诊断的理想光源。因此,自从x射线激光出现以来,人们一直致力于把x射线激光的输出波长推进到“水窗”波段。目前, 我国已经成功实现了类镍钽软x射线激光的饱和输出...
- 朱京涛王蓓徐垚张众王洪昌王风丽陈玲燕王占山
- 文献传递
- 极紫外多层膜基底表面粗糙度综合表征技术
- 研究用不同清洗方法对硅基底表面粗糙度的影响,首先使用原子力显微镜（AFM）直接测量硅片表面粗糙度。然后,利用直流磁控溅射方法,在相同制备工艺条件下镀制Mo／Si多层膜,使用X射线衍射仪（XRD）对多层膜二级衍射峰进行摇摆...
- 张淑敏朱京涛王风丽张众沈正祥王占山周洪军霍同林
- 关键词：多层膜超声清洗摇摆曲线
- 文献传递
- 宽波段亚四分之一波长多层膜的设计
- 波长小于110 nm的真空紫外与极紫外波段有许多重要的光谱线,对天体物理、大气物理、空间通讯和空间天气预报的应用具有重要意义。由于所有材料在50-110hm波段均有强烈的吸收,单层膜和常规多层膜反射率均难以满足实用要求,...
- 李存霞朱京涛王洪昌吴文娟王风丽王占山
- 文献传递
- X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制被引量：5
- 2006年
- 介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪(8 keV)测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求。
- 顾春时王占山王风丽张众穆宝忠秦树基陈玲燕
- 关键词：多层膜磁控溅射
- EUV多层膜基底表面粗糙度综合表征技术
- ＜正＞多层膜反射镜是极紫外、软x射线光学中的一类重要的光学元件,近年来,随着纳米技术的进步, 人们在膜系设计、制备工艺上取得了很大的进步,但是对于超光滑基底的研究进展比较缓慢。在多层膜生长过程中,基底表面质量直接影响薄膜...
- 张淑敏朱京涛王风丽张众沈正祥王占山周洪军霍同林
- 文献传递
- 4.48nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制被引量：3
- 2007年
- 针对4.48nm类镍钽软X射线激光及其应用实验,设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48nm高反射多层膜的材料对,通过优化设计,确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国BessyⅡ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率,测量的峰值反射率达7.5%。对衍射仪测量的掠入射反射曲线和同步辐射测量的反射率曲线分别进行拟合,得到的粗糙度和厚度比的结果相近。测试结果表明,所制备的Cr/C多层膜样品结构良好,在指定工作波长处有较高的反射峰,达到了设计要求。
- 王蓓王占山徐垚张众朱京涛王洪昌王风丽陈玲燕
- 关键词：X射线光学软X射线多层膜磁控溅射
