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陕西省教育厅自然科学基金(09JK487)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：田爱玲杭凌侠朱学亮更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇纳米光学
  • 1篇光学

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇朱学亮
  • 1篇杭凌侠
  • 1篇田爱玲

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米光学表面加工缺陷高效检测技术被引量：1
2011年
纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面,广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面;基于非接触式无损检测手段的优点,针对白光干涉技术和表面散射测量技术等进行原理分析,采用不同的工艺条件制备不同加工缺陷的测试样片,分别采用白光干涉仪、原子力显微镜和表面散射测量仪进行测量对比分析,实验结果表明白光干涉技术是进行表面粗糙度和亚表层损伤测量的有效手段,具有检测精度高、测量速度快以及对被测件无损伤等特点。
朱学亮杭凌侠田爱玲
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