您的位置： 专家智库 > >

安徽省高等学校优秀青年人才基金(2008jq1080)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：童云华王海更多>>
相关机构：安徽工程大学更多>>
发文基金：安徽省高校省级自然科学研究项目安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇柔性铰链
  • 1篇类号
  • 1篇分类号
  • 1篇MEMS技术
  • 1篇残余应力

机构

  • 2篇安徽工程大学

作者

  • 2篇王海
  • 2篇童云华

传媒

  • 1篇安徽工程科技...
  • 1篇安徽工程大学...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
用于薄膜残余应力检测的微指针放大机构被引量：1
2012年
在MEMS器件中应用的各类薄膜材料在制备过程所产生的残余应力,对器件的性能和可靠性具有较大的影响.设计了一种用于残余应力在线检测的柔性铰链放大机构,并对柔性铰链的结构尺寸与放大机构的角变形和转动刚度的关系进行理论建模,利用FEA软件对3种不同类型柔性铰链的转动刚度进行了数值仿真,为用于残余应力检测的微指针结构的放大机构的优化设计提供了前期研究基础.
童云华王海
关键词：柔性铰链
基于MEMS技术的薄膜残余应力检测技术
2010年
薄膜材料在制备中都会产生一定的残余应力,而薄膜中残余应力的大小对整个微机电系统的性能和可靠性具有很大的影响.讨论了几种典型的残余应力检测方法,并分析了各自的特点.在此基础上,提出了一种整合微指针结构驱动器和测量探针的新型残余应力测试方法.其核心是设计出一种基于扫描探针的薄膜残余应力在线检测系统.
王海童云华
关键词：残余应力
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0