国家自然科学基金(19775067)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
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- 弹性反冲探测技术在材料分析中的应用
- 利用HI-13串列加速器提供的高品质的I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测...
- 路秀琴符长波周平郭继宇赵葵李淑媛刘建成倪嵋楠隋丽
- 文献传递
- 表面高分辨弹性反冲探测分析被引量：1
- 2000年
- 在中国原子能科学研究院 HI- 1 3串列加速器上建立了用 Q3D磁谱仪动量分析和ΔE- E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用 1 0 0 Me V12 7I对 C/Li F多层样品的深度分布分析表明 ,表面分辨达到 1 .2 nm.所建立的ΔE(气体 ) - E(半导体 )望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素 .实测了新光电材料 Ga N,La2 Sr Cu O4 超导膜和新超硬材料 C3N4 (Si)等样品 .
- 路秀琴符长波郭继宇赵葵梁刚李淑媛刘建成姜华
- 高分辨的弹性反冲探测分析技术被引量：3
- 2001年
- 在中国原子能科学研究院HI- 13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用高质量的1 2 7I重离子束轰击薄膜或块材靶样品 ,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE -E望远镜探测器两套探测系统 ,在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱 .利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领 ,将能谱转换成元素的深度分布 .利用Q3D磁谱仪系统 ,对C和H等轻元素的分析得到纳米级的深度分辨谱 .用ΔE -E望远镜探测器可同时得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布 ,其深度分辨率达 2 0— 30nm .
- 路秀琴符长波郭继宇赵葵胡桂青梁刚李淑媛刘建成姜华
- 关键词：核分析技术卢瑟福散射纳米材料
- 纵向型双电离室ΔE-E探测器系统及其在ERD分析中的应用被引量：3
- 2000年
- 设计加工了一套纵向型双电离室ΔE E(气体 固体 )探测器系统 ,由于采用了双电离室及电场均匀技术 ,得到较好的能量分辨率 :利用 5 0 3MeV的12 C在束测量 ,ΔE分辨率达 3 3% ,Er 分辨率达 1 5 %。利用该系统对新型半导体材料GaAs、新型光电材料GaN等进行ERD分析 ,得到了材料的元素深度分布谱 (分辨达 5 0nm) ;在该系统和Q3D磁谱仪配合测量中 。
- 符长波路秀琴赵葵梁刚郭继宇李淑媛刘建成姜华
- 弹性反冲探测技术在材料分析中的应用被引量：2
- 2004年
- 利用HI 13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力。
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