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福建省科技计划项目(2005K033)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：庄哲峰陈学永徐洪烟苏继龙更多>>
相关机构：福建农林大学更多>>
发文基金：福建省科技计划项目福建省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇形变
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微米
  • 1篇微米结构
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS微结...
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇福建农林大学

作者

  • 1篇苏继龙
  • 1篇徐洪烟
  • 1篇陈学永
  • 1篇庄哲峰

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展被引量：2
2009年
微米尺寸驱动结构广泛应用于微机电系统(MEMS)和集成电路等微/纳米系统中。由于这些微米尺寸驱动结构的几何尺寸和其微结构尺寸均在微米至纳米范围,它们的弹性、塑性性能及其变形行为具有明显的尺度效应。简要概述了近年来国内外有关微米尺寸驱动结构的弹性性能和变形特性尺度效应的研究情况,介绍了高阶理论的发展和塑性应变理论与微极理论在尺度效应分析中的应用,并对MEMS今后需要重点研究的方向进行了展望。
苏继龙庄哲峰陈学永徐洪烟
关键词：微机电系统微米结构形变
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