陕西省教育厅科研计划项目(12JK0996)
- 作品数：3 被引量：10H指数：1
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- 激光预处理对HfO_2薄膜损伤特性的影响被引量：10
- 2013年
- 研究了在1-on-1情况下,采用不同激光能量对HfO2薄膜进行预处理后,薄膜的光学特性、损伤阈值以及损伤形貌变化的机理。实验采用阈值能量的10%、30%、50%、70%对薄膜进行1-on-1预处理,经过预处理后的薄膜表面粗糙度平均从2.62nm降低到2.41nm。随着能量阶的提升,激光预处理后薄膜在1064nm处的透射率与预处理前相比均有所增大。激光损伤阈值先增后降,30%能量预处理的薄膜损伤阈值最高,达到了26.86J/cm2,增幅为56%。对比预处理前后的损伤形貌可知,30%能量预处理后薄膜在140mJ能量下,损伤深度由预处理前的98nm减小到了30nm,损伤斑个数由预处理前的5个减少到了预处理后的1个。实验结果表明:膜内杂质缺陷是导致HfO2薄膜阈值降低的因素,低能量的激光预处理薄膜有消除杂质缺陷,平整、固化膜层的作用,因而可以有效地提高薄膜的激光损伤阈值。
- 杨利红王涛苏俊宏韩锦涛
- 关键词：激光预处理粗糙度
- 激光诱导薄膜损伤的光偏转特性研究
- 2014年
- 为了提高测定光学薄膜的损伤阈值的准确性.文中基于光偏转法识别薄膜损伤的模型,搭建了反射式光偏转实验测试系统,采用1-on-1法对SiO2薄膜进行了损伤测试.研究结果表明:像元尺寸为4μm×4μm,光斑接收屏到辐照点的距离为3 264.6mm,SiO2薄膜辐照点的最小斜率变化量为1.23×10-6.当泵浦光束能量密度小于等于SiO2薄膜的损伤阈值15J·cm-2时,探测光斑的光强分布发生变化;当泵浦光能量密度大于薄膜损伤阈值15J·cm-2时,探测光斑大小和样子发生改变.
- 杨利红韩锦涛苏俊宏
- 关键词：光偏转SIO2薄膜损伤形貌激光损伤
- 脉冲激光诱导TiO_2/SiO_2薄膜表面损伤性能实验
- 2014年
- 高功率的激光系统对光学元件的抗激光损伤性能的要求不断提高。主要研究薄膜在脉冲激光诱导作用下的损伤特性及其机理,实验采用YAG脉冲激光器对TiO2/SiO2薄膜样片进行1-on-1方式的激光诱导。实验结果表明:采用低能量激光诱导对薄膜的光学透过率影响不大。经低能量激光诱导后,薄膜的表面结构缺陷得以修复,表面结构趋于完整,变得均匀和细腻。脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜样片,激光能量阶较小时,其损伤阈值随能量增加而增加,损伤阈值最大可增加1倍;激光能量阶较大时,其损伤阈值随能量增加而减小。
- 杨利红王涛韩锦涛苏俊宏
- 关键词：激光诱导损伤阈值
