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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NECT-05-034)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：沙定国邱丽荣赵维谦郭俊杰更多>>
相关机构：北京理工大学南阳理工学院更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇滤波器
  • 2篇计量学
  • 2篇光瞳滤波器
  • 1篇三维轮廓测量
  • 1篇激光
  • 1篇共焦
  • 1篇测量法
  • 1篇超分辨

机构

  • 2篇北京理工大学
  • 1篇南阳理工学院

作者

  • 2篇赵维谦
  • 2篇邱丽荣
  • 2篇沙定国
  • 1篇郭俊杰

传媒

  • 2篇计量学报

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法
2006年
提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大程度地改善共焦测量系统的横向分辨力,通过差动共焦测量法改善共焦测量系统的轴向分辨力,最终提高共焦测量系统空间分辨能力.理论分析和实验表明,当入射激光束波长λ=632.8 nm、测量物镜数值孔径NA=0.85、uM=4时,该方法的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm.该方法可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量.
邱丽荣赵维谦沙定国
关键词：计量学超分辨共焦光瞳滤波器
用于非连续曲面轮廓测量的激光差动像散传感器
2008年
针对目前工程领域中亟待解决的三维曲面轮廓的精密测量问题，研制了具有纳米级轴向分辨力的光瞳滤波式激光偏振光差动像散传感器（PLDAP）。该传感器基于像散检测原理，利用位于两柱面镜焦前、焦后等距放置的两探测器上的光斑形状信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号，对被测表面进行高精度双极性绝对测量，可用于大倾角表面的测量。PLDAP中，偏振差动光路布置光强归一化技术的采用，有效抑制了环境光波动、光源波动、物体表面光学特性以及光学器件间多次反射对测量结果的影响，显著提高了像散检测技术的抗干扰能力。实验表明：当测量物镜采用数值孔径NA=0．65时，PLDAP测量范围达±10μm，分辨力优于5nm，可测倾角20°，稳定性优于2％。该传感器为非连续表面轮廓的跟踪、瞄准测量提供一种新的技术途径。
邱丽荣郭俊杰赵维谦沙定国
关键词：计量学三维轮廓测量光瞳滤波器
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