国家自然科学基金(60578048)
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 相关作者：于军陈曜周治平冯俊波更多>>
- 相关机构：华中科技大学广西大学北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于光学微环的化学传感器被引量：8
- 2009年
- 以SiN为材料,采用与CMOS工艺相兼容的技术,制备了波导宽度为1μm,半径为400μm的SiN光学微环。经测量,其品质因数(Q值)高达20 000,自由光谱范围(FSR)为0.5 nm。提出了采用光学微环传感器、单波长光源和光功率计对待测物进行测量的方案。实验证明,该方案与传统的采用光谱仪测量谐振峰值漂移的方法相比,可以取得更高的系统探测灵敏度。最后,利用微环传感器对葡萄糖溶液浓度进行测量,灵敏度高达10-4折射率单元(RIU),证明了该传感器可以应用于溶液检测领域。
- 陈曜李振宇周治平于军
- 关键词：品质因数
- 氮化铝薄膜的原子层淀积制备及应用被引量：1
- 2009年
- 以三甲基铝(TMA)和氨气(NH3)为源,在原子层淀积设备上实现了氮化铝薄膜的制备.通过扫描电子显微镜、X射线能谱仪和原子力显微镜对氮化铝薄膜的生长速率、成分和粗糙度进行了分析,优化了薄膜淀积工艺.以每周期单分子层的生长模式进行氮化铝薄膜淀积,淀积速率为每周期0.205 nm,厚度为61 nm的薄膜粗糙度为0.69 nm.利用原子层淀积氮化铝薄膜的保型性,通过nm级薄膜厚度的控制,制备了复杂的环形光子晶体器件,其工艺精度高达50 nm.
- 陈曜冯俊波周治平于军
- 关键词：氮化铝原子层淀积保型性粗糙度
- 基于沟道波导的Fano谐振微环传感器
- 为了增强微环传感器的灵敏度,在输入的耦合直波导部分引入一个FP谐振腔,形成Fano谐振。利用沟道型波导的低折射率特性,在与常规波导耦合的分界面上形成折射率差介质层,从而形成部分透射,产生谐振。仿真结构证明,通过Fano谐...
- 易华祥夏志轩周治平
- 关键词：微环谐振腔传感器
- 文献传递
