国家科技重大专项(2009ZX02206)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 相关作者：齐月静卢增雄高斐孟庆宾苏佳妮更多>>
- 相关机构：中国科学院光电研究院中国科学院大学合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析被引量：5
- 2016年
- 环境温度变化是影响夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能，分析了环境温度变化引起的微透镜阵列（MLA）变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件（CCD）间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出，环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素，环境温度在21～24℃内每增加1℃，给测量结果带来的误差[均方根（RMS）]约为0．52nm。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证，实验结果和仿真分析结果基本一致。
- 孟庆宾齐月静卢增雄苏佳妮高斐
- 关键词：环境温度
- 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究
- 2014年
- 在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上,提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法(FDTD)对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。通过分析研究聚焦结构参数对聚焦效果的影响,获得了超衍射极限的聚焦光斑,该聚焦光斑的归一化光强I为4.5、焦半径(FWHM)为300 nm(小于λ/2,λ=632.8 nm)。对于±10 nm的尺寸与定位误差对结构的聚焦特性影响甚微。该模型聚焦结构的横向尺寸仅为2.0μm,适用于纳米光子学、集成光子电路等领域,具有较高的应用价值。
- 丁功明齐月静卢增雄卢荣胜周培松
- 关键词：光学器件时域有限差分法
- 实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
- 2011年
- 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。
- 王庆胜余吟山王效顺游利兵梁勖李会方晓东
- 关键词：准分子激光器XEF开关电源印刷电路板
- 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析被引量：2
- 2015年
- 通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）高精度标定的关键。采用时域有限差分（FDTD）法，进行了193nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算，分析了照明物镜数值孔径（NA）对微孔衍射波前质量的影响，确定了满足SHWS高精度标定所需微孔直径和照明物镜NA的大小。分析计算得出，采用直径为200nm的微孔及NA为0．6～0．75的照明物镜时，衍射波前均方根（RMS）偏差为3．50×10^-3λ，强度均匀性为0．10，微孔透射率约为0．15，满足SHWS进行纳米精度波像差检测对参考球面波质量的要求。
- 齐月静卢增雄杨光华刘成涛彭卓君
- 关键词：时域有限差分法数值孔径
