中国科学院知识创新工程(100132H100)
- 作品数：6 被引量：31H指数：3
- 相关作者：巴音贺希格孔鹏李文昊齐向东崔锦江更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国科学院大学更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程国家重大科学仪器设备开发专项国家创新方法工作专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 罗兰全息光栅线密度误差分析与控制被引量：2
- 2013年
- 分析了罗兰光栅帕邢-龙格结构中光栅线密度误差对波长精度的影响。提出一种利用参考光栅在线检测罗兰全息光栅干涉场条纹密度的方法。将具有标准线密度的参考光栅放置在干涉场内曝光位置,通过检验曝光光束的自准直衍射光与空间滤波器中针孔位置的重合度来判断干涉场条纹密度误差。推导了干涉场条纹密度误差与曝光光束自准直衍射光偏移量的解析表达式,发现干涉场条纹密度误差与曝光光束自准直衍射光偏移量、罗兰光栅曲率半径和曝光光束波长有关。以曲率半径750.2mm的罗兰光栅为例,当采用441.6nm激光建立光路时,利用此方法可将干涉场条纹密度误差调整至0.035grooveμ排m以内。
- 崔锦江孔鹏王帆檀慧明
- 关键词：全息术光谱仪衍射光栅
- 双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪被引量：9
- 2013年
- 基于CCD的微型平场全息凹面光栅光谱仪,以其简单紧凑的结构和快速高效的工作方式在光谱分析领域获得了广泛的应用。但是,由于受限于色散距离,单纯依靠优化光栅像差很难进一步使光谱分辨率获得大幅提高。提出一种双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪的设计方法,用两个使用结构相同的光栅代替传统的单光栅设计,给出一个光谱范围为400～1000nm光谱仪的具体设计,计算显示光谱分辨率最大可提高为原来的2.5倍。通过对光栅衍射效率的计算分析,说明此方法能够显著改善仪器的通光效率。设计制作了原理样机,进行了装调测试,实验结果与理论计算相吻合。
- 孔鹏唐玉国巴音贺希格齐向东李文昊崔锦江
- 关键词：光谱学光谱仪衍射光栅宽光谱
- 球差在平场全息凹面光栅设计中的作用被引量：1
- 2013年
- 基于平场全息凹面光栅几何像差理论,分析了初级像差与高阶像差特别是球差对平场全息凹面光栅成像的作用。通过一个具体的设计,分别讨论宽波段光栅和窄波段光栅设计中校正球差与否对设计结果的影响。通过对光谱像大小和各种像差系数大小进行对比分析得出以下结论:宽波段平场全息凹面光栅像差较大,决定光谱像大小的主要是初级像差,球差的影响难以显现,在进行光栅设计时可以不考虑球差;窄波段光栅的离焦像差较小,球差的影响开始变得显著,此时在设计过程中考虑球差的校正能够进一步改善光栅的成像质量。
- 孔鹏巴音贺希格齐向东李文昊崔锦江
- 关键词：光栅光谱仪全息凹面光栅
- 全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律被引量：3
- 2012年
- 为分析光栅槽形形成的基本原理及槽形随光刻胶特性曲线的演化规律,建立了显影过程中光栅掩模槽形形成的演化模型。基于光刻胶溶解速率在不同曝光量区间的变化,将光刻胶特性曲线分成3个不同区域并分析各区域在光栅掩模槽形形成中的作用,讨论了在不同光刻胶特性曲线条件下光栅掩模槽形的演化规律。结果表明:当光刻胶非线性效应显著时,掩模槽形易形成矩形或梯形,此时槽深由原始胶厚决定;当光刻胶线性效应较显著时,槽形形成正弦形同时槽深有所减小。该模型正确反映了光栅槽形随光刻胶特性曲线变化的演化规律,为通过控制光刻胶特性曲线制作多种掩模槽形提供了理论依据及方法。
- 韩建巴音贺希格李文昊孔鹏
- 关键词：全息光栅光刻胶
- 全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响被引量：5
- 2012年
- 光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一,直接影响光栅分辨率,其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素。采用q参数讨论了高斯光束在光栅曝光光学系统中的传播和变换,通过计算高斯光束经准直系统后的相位给出了叠栅条纹相位分布的解析表达式,由此系统分析了曝光系统调节误差与光栅衍射波像差的关系。理论分析结果表明:左右曝光光路准直系统的相对离焦对光栅衍射波像差的影响最为显著;相对离焦量相同时,光栅衍射波像差随曝光系统焦距的减小而逐渐增大;理论模拟的条纹分布与实验中获得的叠栅条纹能够很好吻合。
- 韩建巴音贺希格李文昊孔鹏
- 关键词：衍射叠栅条纹
- 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计被引量：13
- 2014年
- 建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法。根据系统精度要求计算了A/D转换位数,自行设计了数字控制系统。提出采用光束移频方法来调整条纹相位,应用声光调制器对干涉条纹移动进行实时校正。实验结果表明,该系统采样频率可以达到5kHz,对干涉条纹漂移和10Hz以下的低频振动都有较好的抑制作用,相位变化3σ值小于0.12rad,即相位变化小于±0.02个干涉条纹周期。该系统可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,较好地满足全息曝光的要求。
- 宋莹巴音贺希格齐向东张宁唐玉国
- 关键词：全息光栅莫尔条纹相位锁定声光调制器
